[發(fā)明專利]芳香族锍鹽化合物、光產(chǎn)酸劑、抗蝕劑組合物、陽離子聚合引發(fā)劑和陽離子聚合性組合物

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580077938.6
• 申請日: 2015-03-18
• 公開（公告）號: CN107406403A
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 柳澤智史;戶田瞳;滋野浩一;木村正樹
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社ADEKA
• 主分類號: C07D311/16
• 分類號: C07D311/16;C08G59/68;G03F7/004
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11277
• 代理人: 劉新宇,李茂家

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芳香族锍鹽化合物、光產(chǎn)酸劑、抗蝕劑組合物、陽離子聚合引發(fā)劑和陽離子聚合性組合物，詳細(xì)來說，涉及對基板的腐蝕性低、且光刻特性優(yōu)異的對光產(chǎn)酸劑和陽離子聚合劑有用的芳香族锍鹽化合物、使用其的光產(chǎn)酸劑、抗蝕劑組合物、陽離子聚合引發(fā)劑和陽離子聚合性組合物。

背景技術(shù)

锍鹽化合物是受到光等能量射線照射而產(chǎn)生酸的物質(zhì)，被用于半導(dǎo)體等的電子電路形成中使用的光刻用抗蝕劑組合物中的光產(chǎn)酸劑、或光造型用樹脂組成物、涂料、涂覆劑、粘接劑等光聚合性組合物中的陽離子聚合引發(fā)劑等。

關(guān)于锍鹽化合物，例如專利文獻(xiàn)1中公開了一種香豆素衍生物，但其僅作為降血糖劑而公開，僅記載對于糖尿病的治療、預(yù)防有用，未記載能夠?qū)⒃撓愣顾匮苌镒鳛楣猱a(chǎn)酸劑來使用。另外，在專利文獻(xiàn)2中公開了包含具有香豆素骨架的锍鹽的陽離子聚合引發(fā)劑，在專利文獻(xiàn)3中公開了作為光陽離子性聚合引發(fā)劑、化學(xué)放大型抗蝕劑用產(chǎn)酸劑等有用的含雜環(huán)的锍鹽。但是，作為香豆素骨架的取代基，未暗示烷氧基和芳烷氧基，此外，未暗示在香豆素骨架的3位具有锍的結(jié)構(gòu)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平9-052891號公報

專利文獻(xiàn)2：日本特開平11-035613號公報

專利文獻(xiàn)3：日本專利4341406號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的問題

抗蝕劑組合物、陽離子聚合性組合物是通過以薄膜狀或溶液狀層壓或涂布在基材上來使用的。因此，對于被用于抗蝕劑組合物、陽離子聚合性組合物中的光產(chǎn)酸劑、陽離子聚合性組合物，要求對基板的腐蝕性低且具有優(yōu)異的光刻特性。然而，關(guān)于這些方面與取代基的種類、位置的關(guān)系，在專利文獻(xiàn)1～3中并未進(jìn)行充分地研究。

因此，本發(fā)明的目的在于，提供對基板的腐蝕性低、且光刻特性優(yōu)異的對光產(chǎn)酸劑和陽離子聚合劑有用的芳香族锍鹽化合物、使用其的光產(chǎn)酸劑、抗蝕劑組合物、陽離子聚合引發(fā)劑和陽離子聚合性組合物。

用于解決問題的方案

本發(fā)明人等為了解決上述問題進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，如果是含有具備具有特定結(jié)構(gòu)的有機(jī)磺酸陰離子的芳香族锍鹽化合物而成的光產(chǎn)酸劑和陽離子聚合引發(fā)劑，則可以解決上述問題，從而完成了本發(fā)明。

即，本發(fā)明的芳香族锍鹽化合物的特征在于，如下述通式(I)所示，

(式(I)中，R¹～R¹⁰各自獨立地表示氫原子、鹵素原子、羥基、硝基、氰基、任選具有取代基的碳原子數(shù)1～18的烷基、任選具有取代基的碳原子數(shù)6～20的芳基、或者任選具有取代基的碳原子數(shù)7～20的芳基烷基，R¹～R¹⁰表示的碳原子數(shù)1～18的烷基、碳原子數(shù)6～20的芳基和碳原子數(shù)7～20的芳基烷基中的亞甲基鏈任選被-O-、-S-、-CO-、-CO-O-或O-CO-中斷，R¹¹～R¹⁵各自獨立地表示氫原子、任選具有取代基的碳原子數(shù)1～18的烷氧基、任選具有取代基的碳原子數(shù)7～20的芳基烷氧基、任選具有取代基的碳原子數(shù)1～18的硫代烷基、任選具有取代基的碳原子數(shù)7～20的芳基硫代烷基、或者-NRR’，R和R’各自獨立地表示氫原子、碳原子數(shù)1～10的烷基或者碳原子數(shù)6～12的芳基，R¹¹～R¹⁵中的1個以上不是氫原子，X₁^-表示1價的有機(jī)磺酸陰離子。)。

另外，本發(fā)明的其它芳香族锍鹽化合物的特征在于，如下述通式(Ⅱ)所示，

(式(Ⅱ)中，R¹～R¹⁰和X₁^-與上述通式(I)相同，Y表示碳原子數(shù)1～18的烷基或者碳原子數(shù)7～20的芳基烷基。)。

本發(fā)明中的光產(chǎn)酸劑的特征在于，其包含本發(fā)明的芳香族锍鹽化合物。

本發(fā)明的抗蝕劑組合物的特征在于，其含有本發(fā)明的光產(chǎn)酸劑。

本發(fā)明的抗蝕劑組合物優(yōu)選為i線用正型或負(fù)型。

本發(fā)明的陽離子聚合引發(fā)劑的特征在于，其包含本發(fā)明的芳香族锍鹽化合物。