[發(fā)明專利]芳香族锍鹽化合物、光產(chǎn)酸劑、抗蝕劑組合物、陽離子聚合引發(fā)劑和陽離子聚合性組合物

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580077938.6
• 申請日: 2015-03-18
• 公開（公告）號: CN107406403A
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 柳澤智史;戶田瞳;滋野浩一;木村正樹
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社ADEKA
• 主分類號: C07D311/16
• 分類號: C07D311/16;C08G59/68;G03F7/004
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11277
• 代理人: 劉新宇,李茂家

1.一種芳香族锍鹽化合物，其特征在于，如下述通式(I)所示，

式(I)中，R¹～R¹⁰各自獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、羥基、硝基、氰基、任選具有取代基的碳原子數(shù)1～18的烷基、任選具有取代基的碳原子數(shù)6～20的芳基、或者任選具有取代基的碳原子數(shù)7～20的芳基烷基，R¹～R¹⁰表示的碳原子數(shù)1～18的烷基、碳原子數(shù)6～20的芳基和碳原子數(shù)7～20的芳基烷基中的亞甲基鏈任選被-O-、-S-、-CO-、-CO-O-或O-CO-中斷，R¹¹～R¹⁵各自獨(dú)立地表示氫原子、任選具有取代基的碳原子數(shù)1～18的烷氧基、任選具有取代基的碳原子數(shù)7～20的芳基烷氧基、任選具有取代基的碳原子數(shù)1～18的硫代烷基、任選具有取代基的碳原子數(shù)7～20的芳基硫代烷基、或者-NRR’，R和R’各自獨(dú)立地表示氫原子、碳原子數(shù)1～10的烷基或者碳原子數(shù)6～12的芳基，R¹¹～R¹⁵中的1個以上不是氫原子，X₁^-表示1價(jià)的有機(jī)磺酸陰離子。

2.一種芳香族锍鹽化合物，其特征在于，如下述通式(Ⅱ)所示，

式(Ⅱ)中，R¹～R¹⁰和X₁^-與前述通式(I)相同，Y表示碳原子數(shù)1～18的烷基或者碳原子數(shù)7～20的芳基烷基。

3.一種光產(chǎn)酸劑，其特征在于，包含權(quán)利要求1或2所述的芳香族锍鹽化合物。

4.一種抗蝕劑組合物，其特征在于，含有權(quán)利要求3所述的光產(chǎn)酸劑。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的抗蝕劑組合物，其中，所述抗蝕劑組合物為i線用正型或負(fù)型抗蝕劑組合物。

6.一種陽離子聚合引發(fā)劑，其特征在于，包含權(quán)利要求1或2所述的芳香族锍鹽化合物。

7.一種陽離子聚合性組合物，其特征在于，含有權(quán)利要求6所述的陽離子聚合引發(fā)劑。