[發(fā)明專利]帶電粒子束裝置以及試樣觀察方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580077898.5
• 申請(qǐng)日: 2015-04-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107408484B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 塙曉成;菊池秀樹(shù);谷口佳史;矢口紀(jì)惠;土橋高志;渡邊慶太郎;玉置央和
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社日立高新技術(shù)
• 主分類號(hào): H01J37/26
• 分類號(hào): H01J37/26;H01J37/09;H01J37/295
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 曾賢偉;范勝杰

在帶電粒子束裝置中，容易且自動(dòng)地拍攝與任意的衍射點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的透射像、與該透射像的部分范圍相對(duì)應(yīng)的衍射圖案。該帶電粒子束裝置具有：成像部，其對(duì)試樣的像進(jìn)行成像；光闌，其被配置在所述成像部?jī)?nèi)，并形成有用于使來(lái)自所述試樣的電子束通過(guò)的大小不同的多個(gè)開(kāi)口；移動(dòng)部，其變更所述光闌的位置；以及顯示部，其顯示所成像的像，當(dāng)作業(yè)者在所述顯示部上例如選擇了衍射點(diǎn)(A)時(shí)，所述移動(dòng)部按照所述衍射點(diǎn)(A)的位置，根據(jù)所述光闌與所述像的位置關(guān)系來(lái)移動(dòng)所述光闌。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及帶電粒子束裝置以及使用該裝置的試樣觀察方法。

背景技術(shù)

以往，為了取得任意的暗視野像，需要調(diào)整光闌位置等高難度的操作技術(shù)。另一方面，這些操作技術(shù)也是使暗視野像的取得變難的原因之一。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2009-110788號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明要解決的課題

以下，針對(duì)為了使用透射電子顯微鏡(以下稱為“TEM”)取得暗視野像而使用的以往的過(guò)程進(jìn)行描述。作業(yè)者在確定觀察區(qū)域后，操作成像透鏡，并將觀察模式切換到衍射圖案觀察模式。接著，在光路上導(dǎo)入并定位物鏡光闌，僅將期望的衍射點(diǎn)區(qū)域的電子束成分成像于攝像面。之后，操作成像透鏡來(lái)將觀察模式切換到TEM像觀察模式，并對(duì)與預(yù)定的衍射點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的暗視野像進(jìn)行拍攝。為了拍攝與其他的衍射點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的暗視野像，再次將觀察模式切換到衍射圖案觀察模式，重復(fù)同樣的工作。如此，在以往技術(shù)中，為了使用TEM拍攝暗視野像，需要作業(yè)者進(jìn)行衍射圖案觀察模式與TEM像觀察模式的切換操作、基于手動(dòng)的物鏡光闌位置的調(diào)整操作等多個(gè)調(diào)整操作。但是，物鏡光闌位置的調(diào)整操作需要通過(guò)坐標(biāo)點(diǎn)的手動(dòng)輸入來(lái)進(jìn)行，非常費(fèi)時(shí)。

因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種不需要進(jìn)行基于作業(yè)者的衍射圖案觀察模式與TEM像觀察模式的切換操作、物鏡光闌位置的調(diào)整操作，而搭載有短時(shí)間并且容易、自動(dòng)地拍攝與任意的衍射點(diǎn)相對(duì)應(yīng)的透射像、與該透射像的一部分范圍相對(duì)應(yīng)的衍射圖案的功能的帶電粒子束裝置。

用于解決課題的手段

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用要求專利保護(hù)的范圍所記載的結(jié)構(gòu)。也就是說(shuō)，本發(fā)明采用如下結(jié)構(gòu)：具有顯示像的顯示部和從顯示的像中選擇預(yù)定的部分的位置的選擇部，并根據(jù)所述預(yù)定的部分的選擇位置，根據(jù)光闌與像的位置關(guān)系選擇預(yù)定的開(kāi)口。

更具體地，本發(fā)明提供一種帶電粒子束裝置，具有：照射部，其對(duì)試樣照射帶電粒子束；成像部，其對(duì)所述試樣的像進(jìn)行成像；光闌，其被配置在所述成像部?jī)?nèi)，并形成有用于使來(lái)自所述試樣的電子束通過(guò)的大小不同的多個(gè)開(kāi)口；移動(dòng)部，其變更所述光闌的位置；檢測(cè)部，其獲得通過(guò)所述成像光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行成像而得的像；顯示部，其顯示通過(guò)所述檢測(cè)部獲得的所述像；以及選擇部，其從所顯示的所述像中選擇預(yù)定的部分，所述移動(dòng)部按照所述預(yù)定的部分的選擇位置，根據(jù)所述光闌與所述像的位置關(guān)系來(lái)移動(dòng)所述光闌，所述像是電子束衍射像以及所述試樣的透射像中的至少一個(gè)，所述光闌是能夠插入到所述成像部?jī)?nèi)的衍射面的物鏡光闌以及能夠插入到所述成像部?jī)?nèi)的一次像面的限制視野光闌中的至少一個(gè)。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，作業(yè)者例如通過(guò)在顯示部上選擇衍射像的預(yù)定的部分(例如點(diǎn))，可以容易并且自動(dòng)地取得與所選擇的部分相對(duì)應(yīng)的透射像。另外，根據(jù)本發(fā)明，作業(yè)者例如通過(guò)在顯示部上選擇透射像的預(yù)定的部分(例如范圍)，可以容易并且自動(dòng)地取得與所選擇的部分相對(duì)應(yīng)的衍射像。通過(guò)以下的實(shí)施方式的說(shuō)明，使上述以外的問(wèn)題、結(jié)構(gòu)以及效果變得更加明確。

附圖說(shuō)明

圖1是實(shí)施例所涉及的透射電子顯微鏡(TEM)的整體結(jié)構(gòu)圖。

圖2是說(shuō)明電子束的軌道的圖。