[發明專利]帶電粒子束裝置以及試樣觀察方法

有效

• 申請號: 201580077898.5
• 申請日: 2015-04-14
• 公開（公告）號: CN107408484B
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 塙曉成;菊池秀樹;谷口佳史;矢口紀惠;土橋高志;渡邊慶太郎;玉置央和
• 申請（專利權）人: 株式會社日立高新技術
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26;H01J37/09;H01J37/295
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 曾賢偉;范勝杰

1.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，具有：

照射部，其對試樣照射帶電粒子束；

成像部，其對所述試樣的像進行成像；

光闌，其被配置在所述成像部內，并形成有用于使來自所述試樣的電子束通過的大小不同的多個開口；

移動部，其變更所述光闌的位置；

檢測部，其獲得通過所述成像部進行成像而得的像；

顯示部，其顯示通過所述檢測部獲得的所述像；以及

選擇部，其從所顯示的所述像中選擇多個預定的部分中的第一預定的部分，

所述移動部按照所述第一預定的部分的選擇位置，根據所述光闌與所述像的位置關系來移動所述光闌，

所述像是電子束衍射像以及所述試樣的透射像中的至少一個，

所述光闌是能夠插入到所述成像部內的衍射面的物鏡光闌以及能夠插入到所述成像部內的一次像面的限制視野光闌中的至少一個；

其中，在選擇了所述第一預定的部分之后，所述選擇部自動地連續選擇所述多個預定的部分中的其中一個未被選擇的預定的部分；并且所述移動部按照所述多個預定的部分中的每個預定的部分的位置，根據所述光闌與所述像的位置關系來自動地連續移動所述光闌。

2.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述像是電子束衍射像以及所述試樣的透射像，

所述光闌是能夠插入到所述成像部內的衍射面的物鏡光闌以及能夠插入到所述成像部內的一次像面的限制視野光闌。

3.根據權利要求2所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述帶電粒子束裝置具有：測量部，其測量所述光闌的移動距離，

所述移動部通過反饋所述測量部的測量結果來變更所述光闌的位置。

4.根據權利要求1所述的帶電粒子束裝置，其特征在于，

所述帶電粒子束裝置具有：測量部，其測量所述光闌的移動距離，

所述移動部通過反饋所述測量部的測量結果來變更所述光闌的位置。

5.一種使用帶電粒子束裝置的試樣觀察方法，

所述帶電粒子束裝置具有：

照射部，其對試樣照射帶電粒子束；

成像部，其對所述試樣的像進行成像；

光闌，其被配置在所述成像部內，并形成有用于使來自所述試樣的電子束通過的大小不同的多個開口；

移動部，其變更所述光闌的位置；

檢測部，其獲得通過所述成像部進行成像而得的像；

顯示部，其顯示通過所述檢測部獲得的所述像；以及

選擇部，其從所顯示的所述像中選擇多個預定的部分中的第一預定的部分，

該試樣觀察方法的特征在于，具有如下處理：

通過所述選擇部，從所述顯示部顯示的所述像中接受所述第一預定的部分的選擇；以及

所述移動部按照所述第一預定的部分的選擇位置，根據所述光闌與所述像的位置關系來移動所述光闌，

所述像是電子束衍射像以及所述試樣的透射像中的至少一個，

所述光闌是能夠插入到所述成像部內的衍射面的物鏡光闌以及能夠插入到所述成像部內的一次像面的限制視野光闌中的至少一個；

其中，在選擇了所述第一預定的部分之后，所述選擇部自動地連續選擇所述多個預定的部分中的其中一個未被選擇的預定的部分；并且所述移動部按照所述多個預定的部分中的每個預定的部分的位置，根據所述光闌與所述像的位置關系來自動地連續移動所述光闌。

6.根據權利要求5所述的使用帶電粒子束裝置的試樣觀察方法，其特征在于，

所述像是電子束衍射像以及所述試樣的透射像，

所述光闌是能夠插入到所述成像部內的衍射面的物鏡光闌以及能夠插入到所述成像部內的一次像面的限制視野光闌。

7.根據權利要求6所述的使用帶電粒子束裝置的試樣觀察方法，其特征在于，

所述移動部通過反饋測量部的測量結果來變更所述光闌的位置，其中，該測量部測量所述光闌的移動距離。

8.根據權利要求5所述的使用帶電粒子束裝置的試樣觀察方法，其特征在于，

所述移動部通過反饋測量部的測量結果來變更所述光闌的位置，其中，該測量部測量所述光闌的移動距離。