[發明專利]制作半導體X射線檢測器的方法

有效

• 申請號: 201580077775.1
• 申請日: 2015-04-07
• 公開（公告）號: CN107533145B
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 曹培炎;劉雨潤
• 申請（專利權）人: 深圳幀觀德芯科技有限公司
• 主分類號: G01T1/24
• 分類號: G01T1/24
• 代理公司: 深圳市六加知識產權代理有限公司 44372
• 代理人: 羅水江

制作適合于檢測x射線的裝置的方法包括獲得具有第一表面(124)和第二表面(128)的襯底(122)，其中襯底(122)包括襯底(122)中或襯底(122)上的電子系統(121)，以及所述第一表面(124)上的多個電觸點(125)；獲得包括第一X射線吸收層(110)的第一晶片，其中該第一X射線吸收層(110)包括電極；使第一晶片接合到襯底(122)，使得所述第一X射線吸收層(110)的電極電連接到電觸點(125)中的至少一個。

【技術領域】

本公開涉及X射線檢測器，特別涉及制作半導體X射線檢測器的方法。

【背景技術】

X射線檢測器可以是用于測量X射線的通量、空間分布、光譜或其他性質的設備。

X射線檢測器可用于許多應用。一個重要應用是成像。X射線成像是放射攝影技術并且可以用于揭示組成不均勻和不透明物體(例如人體)的內部結構。

早期用于成像的X射線檢測器包括照相底片和照相膠片。照相底片可以是具有感光乳劑涂層的玻璃底片。盡管照相底片被照相膠片取代，由于它們所提供的優越品質和它們的極端穩定性而仍可在特殊情形中使用它們。照相膠片可以是具有感光乳劑涂層的塑膠膠片(例如，帶或片)。

在20世紀80年代，出現了光激勵螢光板(PSP板)。PSP板可包含在它的晶格中具有色心的螢光材料。在將PSP板暴露于X射線時，X 射線激發的電子被困在色心中直到它們受到在板表面上掃描的雷射光束的激勵。在鐳射掃描板時，捕獲的激發電子發出光，其被光電倍增管收集。收集的光轉換成數碼圖像。與照相底片和照相膠片相比，PSP可以被重復使用。

另一種X射線檢測器是X射線圖像增強器。X射線圖像增強器的部件通常在真空中密封。與照相底片、照相膠片和PSP板相比，X射線圖像增強器可產生即時圖像，即不需要后曝光處理來產生圖像。X射線首先撞擊輸入螢光體(例如，碘化銫)并且被轉換成可見光?？梢姽馊缓笞矒艄怆婈帢O(例如，包含銫和銻復合物的薄金屬層)并且促使電子發射。發射電子數量與入射X射線的強度成比例。發射電子通過電子光學器件投射到輸出螢光體上并且促使該輸出螢光體產生可見光圖像。

閃爍體的操作與X射線圖像增強器有些類似之處在于閃爍體(例如，碘化鈉)吸收X射線并且發射可見光，其然后可以被對可見光合適的圖像感測器檢測到。在閃爍體中，可見光在各個方向上傳播和散射并且從而降低空間分辨率。使閃爍體厚度減少有助于提高空間分辨率但也減少X射線吸收。閃爍體從而必須在吸收效率與解析度之間達成妥協。

半導體X射線檢測器通過將X射線直接轉換成電信號而在很大程度上克服該問題。半導體X射線檢測器可包括半導體層，其在感興趣波長吸收X射線。當在半導體層中吸收X射線光子時，產生多個載流子(例如，電子和空穴)并且在電場下，這些載流子被掃向半導體層上的電觸點?，F有的半導體X射線檢測器(例如，Medipix)中需要的繁瑣的熱管理會使得難以或不能生產具有大面積和大量像素的檢測器。

【發明內容】

本文公開制作適合于檢測x射線的裝置的方法，該方法包括：獲得襯底，其具有第一表面和第二表面，其中該襯底包括襯底中或襯底上的電子系統，其中襯底包括第一表面上的多個電觸點；獲得第一晶片，其包括第一X射線吸收層，其中該第一X射線吸收層包括電極；使第一晶片接合到襯底，使得第一X射線吸收層的電極電連接到電觸點中的至少一個。

根據實施例，方法進一步包括將背襯襯底安裝到第一晶片，使得第一晶片夾在背襯襯底與襯底之間。

根據實施例，方法進一步包括：獲得第二晶片，其包括第二X射線吸收層，其中該第二X射線吸收層包括電極；以及使第二晶片接合到襯底，使得第二X射線吸收層的電極電連接到電觸點中的至少一個。

根據實施例，第一晶片與第二晶片之間的間隙小于100微米。

根據實施例，第一晶片的面積要小于襯底。