[發明專利]測量處理裝置、X射線檢查裝置、測量處理方法、測量處理程序及結構物的制造方法

在審

• 申請號: 201580077303.6
• 申請日: 2015-03-03
• 公開（公告）號: CN107407646A
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 八嶋紘寬;早野史倫;河井章利
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: G01N23/04
• 分類號: G01N23/04
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司11019
• 代理人: 壽寧,張華輝

技術領域

本發明涉及一種測量處理裝置、X射線檢查裝置、測量處理方法、測量處理程序及結構物的制造方法。

背景技術

目前，已知如下技術，使用X射線測定裝置用于非破壞用內部檢查，對被測量物進行與設計三維數據的比較、被測量物的壁厚及內部缺陷的評價(例如專利文獻1)。

先前技術文獻

專利文獻

專利文獻1:美國公開專利2013－0083896號

發明內容

發明要解決的問題

對于在同一條件下制造的多個被測量物，使用X射線測定裝置對被測量物的一部分而不是對全部進行測量的情況下，對于多個被測量物的每一個需要測量相同的部位。但是，例如在被測量物是鑄件的情況下，由于熔融金屬凝固時的收縮及模具的磨耗的影響，有可能在形狀上產生不均。另外，加工前的鑄件表面上有凹凸。由于這些原因，每個被測量物其高度及傾斜度有可能不同，因此，存在對于多個被測量物的每一個不能對相同的區域進行測量的問題。特別是在以鑄件表面的面與搭載部接觸的搭載的情況下，這種問題變得顯著化。

用于解決問題的方法

(1)根據本發明的第一方面，提供一種測量處理裝置，其用于X射線檢查裝置，具備：區域信息獲得部，其獲得基于透射第一被測量物的一部分即第一區域的X射線的第一區域信息；存儲部，其存儲比第一區域大的、與第二被測量物的第二區域有關的第二區域信息；判斷部，其基于第一區域信息和第二區域信息，判斷與第一區域對應的區域是否包括在第二區域中。

(2)根據本發明的第二方面，優選的是，在第一方面的測量處理裝置中，第一區域具有包括有第一被測量物的設定的截面的設定的厚度，第二區域具有比第一區域大的厚度。

(3)根據本發明的第三方面，在第二方面的測量處理裝置中，優選的是，第一被測量物和第二被測量物具有相同的結構，第二區域信息是基于表示第二被測量物的結構的設計數據的信息。

(4)根據本發明的第四方面，優選的是，在第二方面的測量處理裝置中，第一被測量物和第二被測量物具有相同的結構，第二區域信息是基于透射第二被測量物的第二區域的X射線的信息。

(5)根據本發明的第五方面，優選的是，在第二方面的測量處理裝置中，第一被測量物和第二被測量物具有相同的結構，第二區域信息是除X射線檢查裝置之外的測量檢查裝置對第二被測量物的第二區域的至少一部分進行測量的測量信息。

(6)根據本發明的第六方面，優選的是，在第二方面的測量處理裝置中，還具備判斷部，第二區域信息包括與第一被測量物的檢查對象的區域有關的檢查對象區域信息，判斷部基于第一區域信息和第二區域信息，判斷第一區域信息是否對應檢查對象區域信息。

(7)根據本發明的第七方面，優選的是，在第六方面的測量處理裝置中，還具備，評價部，如果通過判斷部判斷出第一區域信息與檢查對象區域信息對應，則基于第一區域信息對該第一區域的狀態進行評價；位置差計算部，如果通過判斷部判斷出第一區域信息與檢查對象區域信息不對應，則基于第一區域信息和第二區域信息，計算第一區域和檢查對象的區域的位置的差的。

(8)根據本發明的第八方面，提供一種測量處理裝置，其用于X射線檢查裝置，具備：存儲部，其存儲包括被測量物的檢查對象區域且與比檢查對象區域大的設定區域對應的設定區域信息；區域信息獲得部，其基于透射被測量物的一部分區域的X射線獲得與一部分區域相關的區域信息；判斷部，其基于區域信息和設定區域信息，判斷一部分區域是否對應檢查對象區域。

(9)根據本發明的第九方面，優選的是，在第八方面的測量處理裝置中，設定區域信息是基于表示被測量物的結構的設計數據的信息。

(10)根據本發明的第十方面，優選的是，在第八方面的測量處理裝置中，設定區域信息是基于透射被測量物的設定區域的X射線的信息。

(11)根據本發明的第十一方面，優選的是，在第八方面的測量處理裝置中，設定區域信息是除X射線檢查裝置之外的測量檢查裝置對被測量物的設定區域的至少一部分進行測量的測量信息。

(12)根據本發明的第十二方面，優選的是，在第八方面的測量處理裝置中，還具備，評價部，如果通過判斷部判斷出一部分區域與檢查對象區域對應，則基于區域信息對該一部分區域的狀態進行評價；位置差計算部，如果通過判斷部判斷出一部分區域不與檢查對象區域對應，則基于區域信息和設定區域信息，計算一部分區域和檢查對象區域的位置的差。