[發(fā)明專利]用于對(duì)試樣進(jìn)行光片顯微檢測(cè)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580076570.1
• 申請(qǐng)日: 2015-11-18
• 公開（公告）號(hào): CN107430266B
• 公開（公告）日: 2020-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 托馬斯·卡爾克布萊納;海爾穆特·里佩爾特;喬治·吉本摩爾根
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司顯微鏡有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): G02B21/36
• 分類號(hào): G02B21/36;G02B21/10;G02B21/00
• 代理公司: 北京市創(chuàng)世宏景專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11493
• 代理人: 崔永華

1.一種用于對(duì)試樣(1)進(jìn)行光片顯微檢測(cè)的方法，其中，

選擇多個(gè)曝光波長(zhǎng)，基于所述多個(gè)曝光波長(zhǎng)將針對(duì)試樣(1)的曝光光線集中起來，

針對(duì)平均波長(zhǎng)，將相位選擇元件的調(diào)制深度確定為π，

對(duì)于相位選擇元件表現(xiàn)出預(yù)設(shè)的相分布并且對(duì)于孔板平面的孔板(24)表現(xiàn)出預(yù)設(shè)的孔板結(jié)構(gòu)，方式為：(i)選出優(yōu)先波長(zhǎng)，所述優(yōu)先波長(zhǎng)具有至少一個(gè)等于最長(zhǎng)曝光波長(zhǎng)的波長(zhǎng)，(ii)在曝光物鏡(10)的焦平面中，針對(duì)預(yù)設(shè)形狀的光片，利用優(yōu)先波長(zhǎng)的光確定出光片的電場(chǎng)，并且由此計(jì)算出要預(yù)設(shè)的相分布，在孔板平面中，對(duì)中間區(qū)域進(jìn)行消隱，使得(iii)孔板結(jié)構(gòu)將優(yōu)先波長(zhǎng)的經(jīng)結(jié)構(gòu)化的光的零階消隱，

相位選擇元件在曝光光路中，在中間像平面中或附近被以曝光光線曝光，并且曝光光線借助于相位選擇元件結(jié)構(gòu)化，

經(jīng)結(jié)構(gòu)化的曝光光線成像到布置在相位選擇元件后面的孔板平面中，在孔板平面中產(chǎn)生曝光光線的頻率光譜，

孔板結(jié)構(gòu)得到匹配，使得經(jīng)結(jié)構(gòu)化的曝光光線的零階在孔板平面中基本上被消隱，由此，在布置于后面的曝光物鏡(10)的焦平面中，成形有經(jīng)結(jié)構(gòu)化的彩色光片，具有垂直于曝光物鏡(10)的焦平面設(shè)置的光片平面，

試樣(1)被以結(jié)構(gòu)化的光片在光片平面中曝光，從試樣(1)射出的光線沿檢測(cè)方向得到檢測(cè)，檢測(cè)方向與光片平面圍成不為零的角度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，確定出光片的電場(chǎng)，方式為：為了使光片成形，將至少兩個(gè)sinc³光束在曝光物鏡(10)的焦平面中相干疊加并且對(duì)在焦平面中獲得的電場(chǎng)進(jìn)行計(jì)算。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，確定出光片的電場(chǎng)，方式為：為了使光片成形，使用預(yù)設(shè)形狀的貝塞爾光束，確定這種貝塞爾光束在焦平面中的電場(chǎng)，并且以計(jì)算的方式來確定所述電場(chǎng)與相同的、分別以預(yù)設(shè)的量值Δ在焦平面中彼此間隔的電場(chǎng)的疊加或者說疊加度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，孔板結(jié)構(gòu)對(duì)焦平面中的次極大值加以消隱。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，曝光光線在打到相位選擇元件上之前，成形為具有相應(yīng)于高斯分布的強(qiáng)度構(gòu)型的、橢圓準(zhǔn)直化的光束。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，將衍射光學(xué)元件用作相位選擇元件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，將空間光調(diào)制器用作衍射光學(xué)元件。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，將具有最長(zhǎng)波長(zhǎng)和最短波長(zhǎng)的曝光波長(zhǎng)的平均值用作平均波長(zhǎng)，或者將需要盡可能高的衍射效率的波長(zhǎng)用作平均波長(zhǎng)。