[發(fā)明專利]適于用于光電裝置中的層堆疊、光電裝置、以及適于用于光電裝置中的層堆疊的制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580075964.5
• 申請(qǐng)日: 2015-02-12
• 公開（公告）號(hào): CN107250965A
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 托馬斯·德皮施
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類號(hào): G06F3/044
• 分類號(hào): G06F3/044;H01L31/0224
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11006
• 代理人: 徐金國,趙靜

領(lǐng)域

本公開內(nèi)容的實(shí)施方式涉及一種適于用于光電裝置(electro-optical device)中的層堆疊、光電裝置、以及適于用于光電裝置中的層堆疊的制造方法。本公開內(nèi)容的實(shí)施方式特別涉及適于用于觸摸屏幕面板中的層堆疊、觸摸屏幕面板、以及適于用于觸摸屏幕面板中的層堆疊的制造方法。

背景

光電裝置可以是結(jié)合電特性和光特性的電子裝置。例如，光電裝置可包括觸摸屏幕面板和電致變色玻璃(electro-chromic glass)。觸摸屏幕面板是特定類別的電子視覺顯示器，能夠在顯示區(qū)域中檢測并定位觸摸。觸摸屏幕面板可包括層堆疊，層堆疊設(shè)置于屏幕裝置之上且配置用于感測觸摸。此類層堆疊可為實(shí)質(zhì)上透明的，能夠被屏幕釋放出的可見光譜中的光線所穿透過。觸摸此類觸摸屏幕面板的顯示區(qū)域，能夠在層堆疊的區(qū)域中造成可測量的電容變化。此電容的變化可使用不同的技術(shù)來測量，使得觸摸的位置能夠受到測定。

用于光電裝置(例如，觸摸屏幕面板)中的層堆疊受到一些特別的考慮。應(yīng)考慮到光電裝置的穩(wěn)定增加的尺寸(例如，顯示器)。具體來說，現(xiàn)今對(duì)于此類大型觸摸屏幕尺寸的電特性的興趣逐漸增加。例如，層堆疊的高導(dǎo)電性或低電阻被認(rèn)為是有益的。另一可考慮點(diǎn)涉及光電裝置的光學(xué)特性，例如，呈現(xiàn)給用戶的外觀(appearance)。具體來說，層堆疊的層狀結(jié)構(gòu)應(yīng)為用戶不可見的。

有鑒于上述，能夠克服本領(lǐng)域中至少一些問題的新型的適于用于光電裝置中的層堆疊、光電裝置和適于用于光電裝置中的層堆疊的制造方法是有益的。具體來說，新型層堆疊、光電裝置和層堆疊的制造方法是有益的，相較傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)而言提供改良電氣性能(electrical performance)。

概述

有鑒于上述，本公開內(nèi)容提供一種適于用于光電裝置中的層堆疊、光電裝置、以及適于用于光電裝置中的層堆疊的制造方法。本公開內(nèi)容的其他方面、優(yōu)點(diǎn)和特征由權(quán)利要求書、說明書和附圖來表明。

根據(jù)本公開內(nèi)容的一方面，提供一種適于用于光電裝置中的層堆疊。層堆疊包括透明導(dǎo)電氧化物層和線路圖案，導(dǎo)電材料的線路圖案被施加于透明導(dǎo)電氧化物層。其中透明導(dǎo)電氧化物層和線路圖案彼此電性接觸。

根據(jù)本公開內(nèi)容的另一方面，提供光電裝置。光電裝置包括根據(jù)本文所述實(shí)施方式的層堆疊。

根據(jù)本公開內(nèi)容的又一方面，提供適于用于光電裝置中的層堆疊的制造方法。方法包括沉積透明導(dǎo)電氧化物層，以及將導(dǎo)電材料的線路圖案施加于透明導(dǎo)電氧化物層。其中透明導(dǎo)電氧化物層和線路圖案彼此電性接觸。

實(shí)施方式還涉及用于實(shí)行所公開的方法的設(shè)備，并且包括用于進(jìn)行每個(gè)所述方法方面的設(shè)備部件。這些方法的方面可通過硬件部件、通過合適軟件編程的計(jì)算機(jī)、通過這兩者的任意組合或任何其他方式所進(jìn)行。再者，根據(jù)本公開內(nèi)容的實(shí)施方式還涉及用于操作所述設(shè)備的方法。這包括用于執(zhí)行每個(gè)設(shè)備的功能的方法的方面。

附圖簡要說明

本公開內(nèi)容簡潔摘要于上文中，為了對(duì)本公開內(nèi)容的上述特征的方式有更佳的了解，本公開內(nèi)容的特定描述可參照于實(shí)施方式。所附附圖涉及本公開內(nèi)容的實(shí)施方式且描述于下文中：

圖1示出根據(jù)本文所述實(shí)施方式的適于用于光電裝置中的層堆疊的示意圖；

圖2示出根據(jù)本文所述又一實(shí)施方式的適于用于光電裝置中的層堆疊的截面圖；

圖3A-圖3D示出根據(jù)本文所述實(shí)施方式的線路圖案的示意圖；

圖4示出根據(jù)本文所述實(shí)施方式的蜘蛛網(wǎng)狀的線路圖案的示意圖；

圖5示出根據(jù)本文所述實(shí)施方式的線路間距不同的線路圖案的示意圖；

圖6A示出根據(jù)本文所述實(shí)施方式的光電裝置的示意圖；

圖6B示出根據(jù)本文所述實(shí)施方式的圖6A的光電裝置的線路圖案的部分示意圖；

圖7A-圖7D示出根據(jù)本文所述又一實(shí)施方式的線路圖案的示意圖；

圖8示出根據(jù)本文所述實(shí)施方式的適合用于光電裝置中的層堆疊的制造方法的流程圖；

圖9示出根據(jù)本文所述實(shí)施方式的用于制造層堆疊的沉積設(shè)備的示意圖；以及

圖10示出根據(jù)本文所述實(shí)施方式的用于制造層堆疊的另一沉積設(shè)備1000的示意圖。

實(shí)施方式的具體描述