[發明專利]適于用于光電裝置中的層堆疊、光電裝置、以及適于用于光電裝置中的層堆疊的制造方法

在審

• 申請號: 201580075964.5
• 申請日: 2015-02-12
• 公開（公告）號: CN107250965A
• 公開（公告）日: 2017-10-13
• 發明（設計）人: 托馬斯·德皮施
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044;H01L31/0224
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司11006
• 代理人: 徐金國,趙靜

1.一種適于用于光電裝置中的層堆疊，包括：

透明導電氧化物層；以及

導電材料的線路圖案，所述線路圖案被施加于所述透明導電氧化物層，

其中，所述透明導電氧化物層和所述線路圖案彼此電性接觸。

2.如權利要求1所述的層堆疊，其中所述線路圖案被施加于所述透明導電氧化物層的表面區域，并且其中所述線路圖案覆蓋所述透明導電氧化物層的所述表面區域的一小部分。

3.如權利要求1或2所述的層堆疊，其中所述線路圖案覆蓋小于10％或小于1％的所述透明導電氧化物層的表面區域。

4.如權利要求1至3的任一項所述的層堆疊，其中所述線路圖案的線路寬度在1至50微米的范圍中，或者是在2至4微米的范圍中。

5.如權利要求1至4的任一項所述的層堆疊，其中所述線路圖案的線路間距在0.1至1毫米的范圍中，或者是在0.2至0.3毫米的范圍中。

6.如權利要求1至5的任一項所述的層堆疊，其中所述線路圖案的線路間距有所變化。

7.如權利要求1至6的任一項所述的層堆疊，其中所述線路圖案的線路寬度和線路厚度中的至少一個有所變化。

8.如權利要求1至7的任一項所述的層堆疊，其中所述線路圖案包括兩條或更多條第一線路和兩條或更多條第二線路，其中所述兩條或更多條第一線路中的至少一條線路與所述兩條或更多條第二線路中的至少一條線路交叉。

9.如權利要求1至8的任一項所述的層堆疊，其中所述線路圖案選自于由具有多條平行線路的線路圖案、鉆石形線路圖案、矩形線路圖案和蜘蛛網狀線路圖案組成的組。

10.如權利要求1至9的任一項所述的層堆疊，其中所述線路圖案的所述導電材料包括選自由銅、鋁、金、銀、鉬和它們的合金、接觸材料、粘附材料、抗氧化物及它們任意組合組成的組中的至少一種材料。

11.如權利要求1至10的任一項所述的層堆疊，其中所述透明導電氧化物層是銦錫氧化物層和結構化透明導電氧化物層中的至少一種。

12.一種光電裝置，包括如權利要求1至11的任一項所述的層堆疊。

13.如權利要求12所述的光電裝置，其中所述光電裝置選自由電致變色玻璃或窗、觸摸屏幕面板和光伏裝置組成的組。

14.一種適于用于光電裝置中的層堆疊的制造方法，包括：

沉積透明導電氧化物層；以及

將導電材料的線路圖案施加于所述透明導電氧化物層，

其中所述透明導電氧化物層和所述線路圖案彼此電性接觸。

15.如權利要求14所述的方法，其中將導電材料的線路圖案施加于所述透明導電氧化物層的步驟包括：

將所述導電材料沉積在所述透明導電氧化物層的表面上；以及

使所述導電材料結構化，以便形成所述線路圖案。