[發(fā)明專利]用于襯底容置的具有整體拐角彈簧的水平襯底容器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580073604.1 | 申請日: | 2015-12-08 |
| 公開(公告)號: | CN107112269A | 公開(公告)日: | 2017-08-29 |
| 發(fā)明(設計)人: | 艾瑞克·A·柯克蘭 | 申請(專利權(quán))人: | 恩特格里斯公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司11287 | 代理人: | 齊楊 |
| 地址: | 美國馬*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 襯底 具有 整體 拐角 彈簧 水平 容器 | ||
1.一種用于襯底的容器,所述容器界定適于接收多個經(jīng)堆疊襯底的襯底儲存區(qū),所述容器包括:
基底,其包含向上延伸側(cè)壁,所述側(cè)壁經(jīng)安置以至少部分地環(huán)繞所述襯底儲存區(qū),所述基底包含從所述基底向上延伸的至少一個彈性閂鎖部件,所述閂鎖部件包含具有基本上面向下嚙合表面的嚙合部分;
蓋,其包含向下延伸側(cè)壁,所述蓋與所述基底協(xié)作以至少部分地環(huán)繞所述襯底儲存區(qū);及
至少一個可偏轉(zhuǎn)拐角凸緣,其可操作地耦合到所述蓋且相對于所述蓋的所述側(cè)壁徑向向外延伸,所述可偏轉(zhuǎn)拐角凸緣經(jīng)構(gòu)造且經(jīng)布置成可相對于所述蓋向下偏轉(zhuǎn),所述可偏轉(zhuǎn)拐角凸緣界定適于接收所述閂鎖部件的孔隙,所述可偏轉(zhuǎn)拐角凸緣界定適于嚙合所述閂鎖部件的所述嚙合部分以使所述蓋相對于所述基底閂鎖的上部表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的容器,其中:
所述至少一個可偏轉(zhuǎn)拐角凸緣包含圍繞所述蓋分布的至少四個可偏轉(zhuǎn)拐角凸緣;且
所述至少一個閂鎖部件包含圍繞所述基底分布且與所述至少四個拐角凸緣大體上對準的至少四個閂鎖部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的容器,其中:
所述閂鎖部件界定具有凸輪表面的鉤部分,所述凸輪表面適于嚙合所述可偏轉(zhuǎn)拐角凸緣的所述孔隙的邊緣,使得所述蓋及拐角凸緣一起相對于所述基底的向下移動會向所述凸輪表面施加力以使所述閂鎖部件朝向所述容器的中心軸線偏置;
所述拐角凸緣經(jīng)構(gòu)造且經(jīng)布置使得所述拐角凸緣相對于所述蓋的偏轉(zhuǎn)會致使所述鉤部分繞出所述孔隙且致使閂鎖機構(gòu)徑向向外卡合到閂鎖位置;且
所述閂鎖部件的所述嚙合部分嚙合所述拐角凸緣的所述上部表面以使所述蓋相對于所述基底閂鎖。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的容器,其中所述凸輪表面界定適于嚙合所述孔隙邊緣的兩個凸輪表面部分,所述兩個凸輪表面部分在其間界定間隙。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的容器,其中每一閂鎖部件在其上部部分處界定側(cè)表面及基底表面,所述側(cè)表面及所述基底表面經(jīng)安置以在所述兩個凸輪表面部分之間界定所述間隙。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的容器,其中所述基底表面界定在所述兩個凸輪表面部分之間的所述間隙的底部處界定的中心開口。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的容器,其包括至少部分地安置于所述閂鎖部件上所述可偏轉(zhuǎn)拐角凸緣下方以嚙合所述可偏轉(zhuǎn)拐角凸緣且限制其向下偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)限制器,其中所述中心開口直接安置于所述偏轉(zhuǎn)限制器上方且與其成一直線。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的容器,其中所述可偏轉(zhuǎn)拐角凸緣與所述蓋模制為單件式。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的容器,其中所述拐角凸緣界定適于接收使所述拐角凸緣偏轉(zhuǎn)的向下力的推動墊。
10.一種襯底容器,其包括:
多個襯底支撐件,其適于在所述容器內(nèi)接收呈襯底堆疊的襯底;
第一及第二外殼部分,其界定所述容器的外結(jié)構(gòu)且圍封所述襯底支撐件;及
閂鎖機構(gòu),其適于使所述第一與第二外殼部分相對于彼此閂鎖且將所述襯底堆疊固定于所述容器內(nèi),所述閂鎖機構(gòu)包含固定到所述第一外殼部分且安置于其徑向向外位置處的可偏轉(zhuǎn)突片,所述閂鎖機構(gòu)包含固定到所述第二外殼部分且安置于其徑向向外部分處的閂鎖部件,
其中所述可偏轉(zhuǎn)突片在其中界定開口,所述開口適于接收所述閂鎖部件以將所述第一與第二外殼部分閂鎖在一起,且
其中所述可偏轉(zhuǎn)突片抵靠所述閂鎖部件偏置以通過所述外殼部分中的一者抵靠所述襯底堆疊施加壓縮力,使得襯底堆疊牢固地固持于所述第一及第二外殼部分內(nèi)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的容器,其中所述襯底堆疊形成對抗所述第一及第二外殼部分相對于彼此的移動的硬止擋。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的容器,其中所述襯底堆疊在所述第一與第二外殼部分之間形成間隙。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的容器,其包括至少部分地附接到所述閂鎖部件以限制所述突片的偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)限制器。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的容器,其中所述偏轉(zhuǎn)限制器包括可圍繞安置于所述閂鎖部件上的鉸鏈旋轉(zhuǎn)的肋及由所述可偏轉(zhuǎn)突片界定的適于接收所述可旋轉(zhuǎn)肋的凹窩。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





