[發明專利]具有原子層沉積涂層的部件及其制備方法

有效

• 申請號: 201580073226.7
• 申請日: 2015-11-13
• 公開（公告）號: CN107109644B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: E·卡爾;K·基利恩
• 申請（專利權）人: 安捷倫科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;B01D15/22;B01D53/04
• 代理公司: 北京坤瑞律師事務所 11494
• 代理人: 封新琴

本發明提供了液相色譜和氣相色譜部件及其制備方法，所述液相色譜和氣相色譜部件在其內表面上具有保形保護涂層。保形保護涂層通過原子層沉積(ALD)方法形成。本申請的部件和方法用于提供液相色譜和氣相色譜部件的保護涂層，液相色譜和氣相色譜部件能與生物分析分離和敏感性微量分析相容。

相關申請的交叉引用

本申請要求了2015年1月14日提交的美國專利申請序列號14/597,159的權益，所述美國專利申請為2013年7月19日提交的美國專利申請序列號13/946,942的部分連續案，將其整個披露內容在此并入以作參考。

引言

液相色譜(LC)為用于分離化合物的混合物的色譜技術，其目的在于識別、量化或純化所述混合物的單個成分?；跇悠放c流動相和固定相的相互作用出現該分離。在分離混合物時存在許多可采用的固定相/流動相的組合。液固柱色譜法為最流行的色譜技術，其特征為液體流動相經過固體固定相緩慢過濾下來，得到分離的成分與液體流動相。

氣相色譜(GC)為用于識別、分離和/或分析化合物的色譜技術，所述化合物可蒸發而不分解。GC的典型應用包括測試特定物質純度，分離混合物的不同成分(也可測定所述成分的相對量)，或識別化合物。在氣相色譜中，流動相為載氣，通常為惰性氣體例如氦氣或不反應氣體例如氮氣。固定相為例如玻璃或金屬管等柱內側的惰性固體載體上的液體或聚合物層。

LC和GC使用許多金屬部件用于輸送液體和氣體。實例包括泵部件、自動進樣針和分離柱。許多通過LC或GC分析的樣品不與金屬相互作用，但一些樣品可對浸出的金屬離子敏感和/或容易與金屬表面相互作用，從而對分析過程產生干擾或在分離的成分中產生雜質。另外，在一些情況下，可難以在粗糙表面上制備高長寬比結構的均勻涂層，所述粗糙表面包括具有窄腔的表面。

例如，對于LC應用的流路，常規方案已經使用惰性物質，例如聚醚醚酮(PEEK)。除了價格昂貴之外，PEEK還難以形成為許多需要形狀和大小的LC部件，并且不容易得到需要的所有形式。另外，PEEK不如金屬那樣在機械方面強固，因此不能耐受用于超高壓LC(UHPLC)的壓力(典型地高于約400巴)?，F有的其他方法包括在金屬外管內側插入生物可相容的聚合物內管并且用液相有機層涂覆金屬管(美國專利號5,482,628；5,651,885；5,736,036；美國專利申請號20050255579；20110259089)。另一種方法是使用玻璃管，所述玻璃管插入由金屬或塑料制成的夾套中，其對LC部件的應用有限(美國專利號4,968,421)。

常規方法和現有的替代設計已經表現出如下缺點：不能很好地粘附在受保護的金屬表面上，不能沿著細長的管道進行均勻涂覆，以及不能涂覆小通道(例如，直徑為5-10μm)。

因此，對于具有連續且均勻涂覆的內表面的金屬LC和GC部件以及實現該金屬LC和GC部件的有效方法仍然存在未滿足的需求。

發明內容