[發(fā)明專利]樣品臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580067912.3
• 申請(qǐng)日: 2015-11-11
• 公開（公告）號(hào): CN107430973B
• 公開（公告）日: 2020-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 格哈杜斯·伯納德瑞斯·斯塔姆斯尼德;保羅·科內(nèi)利斯·瑪麗亞·萬(wàn)登伯斯;托恩·安東尼厄斯·科內(nèi)利斯·亨利庫(kù)斯·克魯伊特曼斯;桑德爾·理查德·瑪麗·斯多克斯;阿德里安努斯·弗朗西斯庫(kù)斯·約翰內(nèi)斯·哈姆曼;卡雷爾·迪德里克·萬(wàn)登馬斯特
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 飛納世界控股有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11204
• 代理人: 王達(dá)佐;王艷春

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N樣品臺(tái)，例如用于在掃描電子顯微鏡中使用。該樣品臺(tái)包括基底、樣品載體和致動(dòng)器組件，該致動(dòng)器組件布置成用于沿大體上平行于基底的至少一個(gè)方向移動(dòng)樣品載體。致動(dòng)器組件布置成對(duì)樣品臺(tái)從樣品載體到基底的機(jī)械剛度不起作用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種樣品臺(tái)。更具體地，本發(fā)明涉及一種用于電子顯微鏡中的樣品臺(tái)。本發(fā)明還涉及一種諸如用于電子顯微鏡中的真空系統(tǒng)。本發(fā)明還涉及一種改進(jìn)的負(fù)載鎖。

背景技術(shù)

樣品臺(tái)通常用于相對(duì)于參考位置移動(dòng)樣品。參考位置可以例如與諸如掃描電子顯微鏡的顯微鏡視場(chǎng)相關(guān)。參考位置可以例如是光軸或光束位置。樣品臺(tái)允許相對(duì)于參考位置來(lái)定位和重新定位樣品，例如以允許檢查樣品的某些特征，或者允許檢查大于視場(chǎng)的表面積。

負(fù)載鎖在諸如電子顯微鏡的裝置的內(nèi)部大氣與外部大氣之間形成端口。當(dāng)在改性大氣下(例如在真空中)檢查樣品時(shí)，通常使用負(fù)載鎖，以允許順序地檢查多個(gè)樣品，同時(shí)最小化在后續(xù)樣品的裝載和卸載期間對(duì)改性大氣的擾亂。

發(fā)明內(nèi)容

一般來(lái)說(shuō)，期望能夠相對(duì)于參考位置定位樣品，例如通過(guò)借助于樣品臺(tái)來(lái)相對(duì)于基底移動(dòng)樣品載體。基底可以相對(duì)于參考位置固定地定位。樣品可以定位在X方向上，以及可選地Y方向上，以及可選地Z方向上。此外，還可以將樣品定位在旋轉(zhuǎn)方向上，諸如圍繞豎直軸線的旋轉(zhuǎn)方向R以及傾斜方向T1和T2。在本文中，X和Y表示平行于基底平面的兩個(gè)正交方向，并且Z是與X、Y正交的方向。傾斜方向T1和T2通常表示圍繞與旋轉(zhuǎn)R的豎直軸線正交且相互正交的軸線的旋轉(zhuǎn)。

當(dāng)定位樣品時(shí)，位置的精度和維持位置的穩(wěn)定性是非常重要的。通常不期望樣品移動(dòng)，例如在觀察樣品期間在視場(chǎng)內(nèi)振動(dòng)。此外，樣品臺(tái)保持定位在樣品臺(tái)的樣品載體上的樣品的位置的能力是非常重要的。本文中的一個(gè)重要方面是樣品臺(tái)從樣品載體到基底的機(jī)械剛度。已知的是，位移機(jī)構(gòu)，例如導(dǎo)軌(例如用于在X、Y和/或Z方向上定位樣品載體)，或旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(例如用于使樣品載體在R、T1和/或T2方向上旋轉(zhuǎn))可以降低樣品臺(tái)的總體機(jī)械剛度。過(guò)去，已經(jīng)投入了很大的努力來(lái)設(shè)計(jì)具有高機(jī)械剛度的位移機(jī)構(gòu)和旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。

公共樣品臺(tái)設(shè)計(jì)使用：安裝到基底的X臺(tái)，即用于在X方向上的線性位移的位移機(jī)構(gòu)；堆疊在X臺(tái)頂部的Y臺(tái)，即用于在Y方向上的線性位移的位移機(jī)構(gòu)；以及堆疊在Y臺(tái)頂部的樣品載體。發(fā)明人認(rèn)識(shí)到，這種堆疊設(shè)計(jì)可以顯著降低樣品臺(tái)的總體剛度。當(dāng)樣品臺(tái)包括用于更多自由度(例如呈堆疊設(shè)計(jì)的X、Y、Z、R、T1和T2)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)時(shí)，這種情況會(huì)加劇。根據(jù)本發(fā)明的方面，提供了一種樣品臺(tái)，其包括：基底；樣品載體；致動(dòng)器組件，致動(dòng)器組件被布置成用于沿大體上平行于基底的兩個(gè)不同方向移動(dòng)樣品載體。樣品臺(tái)包括二維滑動(dòng)軸承，其被布置成用于允許樣品載體在平行于基底的平面中沿兩個(gè)不同方向滑動(dòng)。這提供了以下優(yōu)點(diǎn)：使得利用單個(gè)二維滑動(dòng)軸承來(lái)使樣品載體相對(duì)于基底的兩種不同運(yùn)動(dòng)成為可能，這顯著地增加了樣品臺(tái)從樣品載體到基底的剛度。大體上平行于基底的兩個(gè)不同方向可以是例如平移和旋轉(zhuǎn)，或兩個(gè)正交的平移。應(yīng)當(dāng)清楚的是，可以通過(guò)使用兩個(gè)正交的致動(dòng)器，例如沿X方向起作用的第一致動(dòng)器和沿Y方向起作用的第二致動(dòng)器，來(lái)實(shí)現(xiàn)沿大體上平行于基底的兩個(gè)正交方向移動(dòng)樣品載體。還可能的是，通過(guò)使用兩個(gè)非正交的致動(dòng)器，例如沿X方向起作用的第一致動(dòng)器和與X軸成45度的第二致動(dòng)器，來(lái)實(shí)現(xiàn)沿基本上平行于基底的兩個(gè)正交方向移動(dòng)樣品載體。還可能的是，通過(guò)使用線性致動(dòng)器和旋轉(zhuǎn)致動(dòng)器，例如沿R方向起作用的第一致動(dòng)器和沿徑向方向起作用的第二致動(dòng)器，來(lái)實(shí)現(xiàn)沿基本上平行于基底的兩個(gè)正交方向移動(dòng)樣品載體。可選地，致動(dòng)器組件還被布置成用于圍繞與基底正交的軸線旋轉(zhuǎn)樣品載體，并且二維滑動(dòng)軸承還被布置成用于允許樣品載體圍繞與基底正交的軸線旋轉(zhuǎn)。