[發明專利]樣品臺

有效

• 申請號: 201580067912.3
• 申請日: 2015-11-11
• 公開（公告）號: CN107430973B
• 公開（公告）日: 2020-05-26
• 發明（設計）人: 格哈杜斯·伯納德瑞斯·斯塔姆斯尼德;保羅·科內利斯·瑪麗亞·萬登伯斯;托恩·安東尼厄斯·科內利斯·亨利庫斯·克魯伊特曼斯;桑德爾·理查德·瑪麗·斯多克斯;阿德里安努斯·弗朗西斯庫斯·約翰內斯·哈姆曼;卡雷爾·迪德里克·萬登馬斯特
• 申請（專利權）人: 飛納世界控股有限公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;王艷春

1.樣品臺，包括：

基底；

樣品載體，定位在所述基底上；以及

致動器組件，布置成用于沿平行于所述基底的至少一個方向移動所述樣品載體，

其中所述致動器組件通過在與所述基底正交的方向上呈柔性的連接件連接至所述樣品載體。

2.根據權利要求1所述的樣品臺，其中所述樣品載體抵靠所述基底進行定位。

3.根據權利要求2所述的樣品臺，其中所述樣品載體抵靠所述基底滑動地進行定位。

4.根據權利要求3所述的樣品臺，其中所述樣品載體包括至少一個滑動表面。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的樣品臺，還包括：

二維滑動軸承，布置成用于允許所述樣品載體在平行于所述基底的平面中沿兩個不同方向滑動，

其中所述致動器組件還布置成用于使所述樣品載體圍繞與所述基底正交的軸線旋轉，以及

其中所述滑動軸承還布置成用于允許所述樣品載體圍繞與所述基底正交的所述軸線旋轉。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的樣品臺，其中所述致動器組件與所述樣品載體的所述連接件在用于移動所述樣品載體的方向上大體呈剛性。

7.根據權利要求1至4中任一項所述的樣品臺，其中所述致動器組件定位在所述樣品載體旁邊。

8.根據權利要求1至4中任一項所述的樣品臺，其中所述樣品載體包括用于保持樣品的樣品保持器。

9.根據權利要求1至4中任一項所述的樣品臺，其中所述樣品載體定位在具有裝載門的真空室內。

10.根據權利要求9所述的樣品臺，其中所述樣品載體包括密封元件，所述密封元件定位成使得所述樣品載體能夠密封地壓靠在所述真空室的壁，以允許通過所述裝載門接近所述樣品載體。

11.根據權利要求10所述的樣品臺，其中所述樣品載體包括底部和圍繞用于保持樣品的空腔的圓周壁，其中所述密封元件定位在所述圓周壁上。

12.樣品臺，布置成定位在具有裝載門的真空室內，所述樣品臺包括：

基底；

樣品載體；以及

致動器組件，布置成用于沿平行于所述基底的定位方向移動所述樣品載體，其中所述致動器組件通過在與所述基底正交的方向上呈柔性的連接件連接至所述樣品載體，

其中所述樣品載體還能夠沿著與所述定位方向不同的裝載方向朝向所述裝載門移動。

13.根據權利要求12所述的樣品臺，其中所述裝載方向與所述基底正交，或者具有與所述基底正交的分量。

14.根據權利要求13所述的樣品臺，其中所述樣品載體包括密封元件，所述密封元件定位成使得所述樣品載體能夠密封地壓靠所述真空室的壁，以允許通過所述裝載門接近所述樣品載體。

15.根據權利要求14所述的樣品臺，其中所述樣品載體包括底部和圍繞用于保持樣品的空腔的圓周壁，其中所述密封元件定位在所述圓周壁上。

16.真空系統，包括具有裝載門和根據權利要求1至15中任一項所述的樣品臺的真空室，其中所述樣品載體定位在真空室內。

17.根據權利要求16所述的真空系統，其中所述致動器組件定位在所述真空室內。

18.根據權利要求16或17所述的真空系統，其中所述真空室包括推動設備，所述推動設備用于使所述樣品載體密封地壓靠所述真空室的壁。