[發明專利]測量數據對制造工具位置和處理批次或時間的映射

有效

• 申請號: 201580067881.1
• 申請日: 2015-10-20
• 公開（公告）號: CN107004618B
• 公開（公告）日: 2020-11-03
• 發明（設計）人: G.艾爾斯;S.麥克唐納
• 申請（專利權）人: 奧羅拉太陽能技術（加拿大）股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L31/028;H01L31/18
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 宋莉

本發明提供用于光伏產品的制造過程控制的方法和系統。一些實施方案涉及追蹤用于光伏產品的晶片關于哪個制造工具處理它們和它們在該制造工具中的位置的方法。一些實施方案涉及測量和表征部分完成的光伏產品的品質關鍵性參數，所述部分完成的光伏產品由所討論的制造工具產生。一些實施方案涉及所測量的參數在計算機屏幕上的顯示和可視化，使得各制造單元的參數可在以下范圍中直接觀察：哪個制造工具處理它們、在處理期間它們位于具體制造工具內的哪個位置、和哪個批次或在連續處理的情況下何時單元被處理。

技術領域

本發明涉及光伏(“PV”)產品及其制造的領域，和特別地涉及通過使用在由制造工具處理后的部分完成的制品(半成品)的品質關鍵性參數的測量而顯示和控制制造工具的性能的方式(手段)。

背景技術

光伏(“PV”)產品和設備將吸收的照明直接轉換為電能，其具有無污染并且操作無聲的優點。它們容易適應于集中式或分布式的發電系統，并且因此是有吸引力的對化石燃料和核動力源的替代品。

PV產業的總體需求在于充分地降低所制造的PV產品的成本以在高度競爭的定價下實現產品盈利能力。對于晶片、電池(元件)和模塊制造商而言，該降低成本的驅動具有三個方面：改善的產品技術(所謂的“高效率(效力)”產品)，對于給定的市場價格提供更高的功率輸出；通過規模經濟降低材料和資本設備(固定設備)的單位成本；以及改善的制造效率和產率。特別地，目前的制造工藝例如通過進一步提供用于工藝監控和優化的工具而經歷改進。

因此，需要不受現有技術的一個或多個限制的用于光伏和類似的基于硅晶片的產品的品質控制方法和系統。

提供該背景信息以揭示申請人認為可能與本發明相關的信息。不必意圖承認，也不應該解釋為，任何前述信息構成針對本發明的現有技術。

發明內容

本發明的目的在于提供用于在光伏產品中使用的硅電池(元件)的制造期間的品質監控的方法和系統。根據本發明的一個方面，提供用于在光伏產品中使用的硅電池的制造期間的品質監控的方法，所述方法包括：在制造操作后測量硅晶片的特性，所述制造操作包括通過制造工具的處理；確定在處理期間在制造工具內的硅晶片的空間次序、時間次序、或空間次序和時間次序兩者；和基于硅晶片的經測量的特性提供信息的圖形顯示，所述信息根據空間次序、時間次序、或空間次序和時間次序兩者空間地排列在圖形顯示上。

根據本發明的另一方面，提供用于在光伏產品中使用的硅電池的制造期間的品質監控的系統，所述系統包括：晶片測量模塊，其配置為在制造操作后測量硅晶片的特性，所述制造操作包括通過制造工具的處理；晶片追蹤模塊，其配置為確定在處理期間在制造工具內的硅晶片的空間次序、時間次序、或空間次序和時間次序兩者；和操作員界面(接口)模塊，其配置為基于硅晶片的經測量的特性提供信息的圖形顯示，所述信息根據空間次序、時間次序、或空間次序和時間次序兩者空間地排列在圖形顯示上。

根據本發明的另一方面，提供用于在光伏產品中使用的硅電池的制造期間的品質監控的方法，所述方法包括：在制造操作后測量硅晶片的參數，所述制造操作包括通過制造工具的處理；使硅晶片各自的經測量的參數與通過制造工具的處理的時間、在處理期間在制造工具內的硅晶片各自的對應位置、或其組合相關聯；使硅晶片各自的經測量的參數與制造操作的方面相關聯，所述方面包括在制造工具內的處理位置和處理時間之一或兩者，從而確定制造工具的操作特性；和顯示所確定的制造工具的操作特性用于品質監控。制造工具可為例如批次(分批)制造工具或線式(在線，成行，inline)制造工具。