[發明專利]切割芯片接合片有效
| 申請號: | 201580067876.0 | 申請日: | 2015-08-04 |
| 公開(公告)號: | CN107004590B | 公開(公告)日: | 2020-08-25 |
| 發明(設計)人: | 吾妻祐一郎;佐伯尚哉 | 申請(專利權)人: | 琳得科株式會社 |
| 主分類號: | H01L21/301 | 分類號: | H01L21/301;C09J7/30;C09J7/20;C09J11/06;C09J201/00;H01L21/52 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人: | 王利波 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 切割 芯片 接合 | ||
1.一種切割芯片接合片,其具有基材、和形成在基材上的含有染料的粘接劑層,其中,
所述粘接劑層的所述染料的含量為8.3質量%以下,
所述基材與所述粘接劑層之間的L*a*b*表色系統的色差ΔE為30~53,
所述色差ΔE按照下述式(I)計算,
ΔE=[(L1*-L2*)2+(a1*-a2*)2+(b1*-b2*)2]1/2····(I)
式(I)中,L1*為基材的L*值,L2*為粘接劑層的L*值,a1*為基材的a*值,a2*為粘接劑層的a*值,b1*為基材的b*值,b2*為粘接劑層的b*值。
2.根據權利要求1所述的切割芯片接合片,其中,所述染料為二偶氮染料。
3.根據權利要求1或2所述的切割芯片接合片,其中,所述染料在其結構中不含金屬原子或金屬離子。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





