[發明專利]在基板上形成的部件的端子檢查方法及基板檢查裝置

有效

• 申請號: 201580066965.3
• 申請日: 2015-12-08
• 公開（公告）號: CN107003255B
• 公開（公告）日: 2020-06-30
• 發明（設計）人: 全桂勛;權達顏
• 申請（專利權）人: 株式會社高迎科技
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G06T7/00;G01R31/304;G01R31/66
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種部件的端子檢查方法，其中，包括：

向檢查對象物照射用于獲得所述檢查對象物的三維形狀信息的光，并接收反射的光從而獲得第一圖像，向所述檢查對象物照射具有各不相同色彩的至少兩個以上的光，并接收反射的光，從而獲得第二圖像的步驟；

從獲得的所述第一圖像獲得亮度信息，從獲得的所述第二圖像獲得色相信息的步驟；

利用獲得的所述亮度信息及所述色相信息，生成所述第一圖像和所述第二圖像的合成圖像的步驟；

在所述合成圖像上設置包含所述檢查對象物的端子的檢查區域的步驟；

在所述檢查區域內檢測各像素的色相信息的變化及各像素的亮度信息的變化的步驟；及

基于所述各像素色相信息的變化及所述各像素亮度信息的變化，對所述合成圖像上的端子區域和焊料區域進行區分的步驟。

2.根據權利要求1所述的部件的端子檢查方法，其中，

用于獲得所述檢查對象物的三維形狀信息的光以垂直于所述檢查對象物的平面的法線為基準，按第一傾斜角照射，

具有各不相同色彩的至少兩個以上的光至少包括第一彩色光及具有不同于所述第一彩色光的色彩的第二彩色光，且所述第一彩色光按小于所述第一傾斜角的第二傾斜角照射，所述第二彩色光按大于所述第一傾斜角的第三傾斜角照射。

3.根據權利要求1所述的部件的端子檢查方法，

在所述設置檢查區域的步驟后，還包括：

在所述檢查區域內，沿著基準方向設置像素的色相從第一色彩變化為另一色彩的區間的步驟，

其中，所述基準方向為從所述端子的一側邊界朝向另一側邊界的方向；

其中，在所述區間內，檢測各像素的色相信息的變化及各像素的亮度信息的變化；

在所述檢測變化的步驟后，進一步包括：

以所述各像素色相信息的變化及所述各像素亮度信息的變化為基礎，獲得所述端子的邊界中至少一部分的步驟。

4.根據權利要求3所述的部件的端子檢查方法，其中，

所述色相及所述亮度設置為針對各個像素而正規化的定量的值，所述色相的變化及所述亮度的變化為沿所述基準方向的各像素色相值的變化及各像素亮度值的變化。

5.根據權利要求4所述的部件的端子檢查方法，其中，

所述第一色彩為紅色，所述色相的變化沿所述基準方向，在所述區間增加，所述亮度的變化沿所述基準方向，在所述區間減小，所述端子的邊界決定為基于所述各像素色相值變化的增加趨勢線與基于所述各像素亮度值變化的減少趨勢線的相交點。

6.一種部件的端子檢查方法，其中，包括：

向檢查對象物照射用于獲得所述檢查對象物的三維形狀信息的光，并接收反射的光從而獲得第一圖像，向所述檢查對象物照射具有各不相同色彩的至少兩個以上的光，并接收反射的光，從而獲得第二圖像的步驟；

從獲得的所述第一圖像獲得亮度信息，從獲得的所述第二圖像獲得色相信息的步驟；及利用獲得的所述亮度信息及所述色相信息，獲得所述檢查對象物的端子的邊界中至少一部分的步驟；

從所述第一圖像獲得高度數據的步驟；及

利用所述高度數據來修正所述亮度信息的步驟，

利用獲得的所述亮度信息及所述色相信息來獲得所述檢查對象物的端子的邊界中至少一部分的步驟是，利用所述修正的亮度信息及所述色相信息，獲得所述檢查對象物的端子的邊界中至少一部分。

7.根據權利要求6所述的部件的端子檢查方法，其中，

在利用所述高度數據來修正所述亮度信息的步驟中，在所述高度數據中，在基準高度以下的情況下，將所述亮度信息設置為0。