[發明專利]脆性襯底的分斷方法

有效

• 申請號: 201580065513.3
• 申請日: 2015-11-12
• 公開（公告）號: CN107001103B
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發明（設計）人: 曾山浩
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: C03B33/023
• 分類號: C03B33/023;B28D5/00
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 楊林勛

通過使刀尖(51)在上表面(SF1)上移動而產生塑性變形，由此形成溝槽線(TL)。形成溝槽線(TL)的步驟是以能夠獲得無裂紋狀態的方式進行。形成溝槽線(TL)的步驟包含形成低負荷區間(LR)及高負荷區間(HR)的步驟。在形成高負荷區間(HR)的步驟中對刀尖(51)施加的負荷，高于在形成低負荷區間(LR)的步驟使用的負荷。通過使裂紋僅在溝槽線(TL)中高負荷區間(HR)伸展，而沿溝槽線(TL)的一部分形成裂紋線。沿溝槽線(TL)分斷玻璃襯底(11)。分斷玻璃襯底(11)的步驟包含以裂紋線為起點沿低負荷區間(LR)使裂紋伸展的步驟。

技術領域

本發明涉及脆性襯底的分斷方法。

背景技術

在平板顯示器面板或太陽能電池面板等電氣設備的制造中，經常需要分斷玻璃襯底等脆性襯底。首先在襯底上形成劃線，其次沿所述劃線分斷襯底。刻劃能夠通過使用刀尖對襯底機械加工而形成。通過刀尖在襯底上滑動或滾動，而在襯底上形成由塑性變形所致的溝槽，并同時在所述溝槽的正下方形成垂直裂紋。其后，進行稱為分斷步驟的應力賦予。由此，通過使所述垂直裂紋在厚度方向上完全進展而分斷襯底。

分斷襯底的步驟相對多的是于在襯底形成劃線的步驟后立刻進行。但是，也提出有在形成劃線的步驟與分斷步驟之間進行加工襯底的步驟。

例如根據國際公開第2002/104078號的技術，在有機EL(Electroluminescence，電致發光)顯示器的制造方法中，能夠在安裝密封蓋之前針對成為各有機EL顯示器的每一區域在玻璃襯底上形成劃線。因此，能夠避免在設置密封蓋后在玻璃襯底上形成劃線時成為問題的密封蓋與玻璃切割器的接觸。

此外，例如根據國際公開第2003/006391號的技術，在液晶顯示面板的制造方法中，能夠將2個玻璃襯底在形成劃線后貼合。由此，能夠用1次分斷步驟將2個脆性襯底同時分斷。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：國際公開第2002/104078號

專利文獻2：國際公開第2003/006391號

發明內容

[發明所要解決的問題]

根據所述先前技術，在形成劃線后進行對脆性襯底的加工，且通過其后的應力賦予而進行分斷步驟。此意味著在對脆性襯底加工時沿劃線整體已存在垂直裂紋。因此，能夠能會因在加工中意外產生所述垂直裂紋在厚度方向上的進而伸展，而在加工中應為一體的脆性襯底分離。此外，即使于不在劃線的形成步驟與襯底的分斷步驟之間進行襯底的加工步驟的情況下，一般也需要在劃線的形成步驟后且襯底的分斷步驟前進行襯底的搬送或保管，此時能夠能意外分斷襯底。

本發明人為解決所述問題而開發了獨自的分斷技術。根據所述技術，作為規定分斷脆性襯底的位置的線，首先，在其正下方形成不具有裂紋的溝槽線。通過形成溝槽線，而規定成為分斷脆性襯底的位置。其后，只要維持在溝槽線的正下方不存在裂紋的狀態，就不易產生沿溝槽線的分斷。通過使用所述狀態，即使預先規定成為分斷脆性襯底的位置，也能夠防止在應分斷的時點之前意外分斷脆性襯底。

所述溝槽線的形成是通過使用刀尖的機械加工進行。在所述機械加工時刀尖受損，最終不再適合使用。因此必須在適當的時機更換刀尖，所述作業負擔在分斷步驟中較大。根據本發明人的研究，與一般的劃線的形成相比，溝槽線的形成不易產生對刀尖的損傷。但是，為了所述作業負擔的進而減輕，期望開發對刀尖的損傷更小的分斷方法。

本發明是為了解決如以上問題而完成的，其目的是提供一種能夠減小對進行規定分斷脆性襯底的位置的加工的刀尖損傷的脆性襯底的分斷方法。

[解決問題的技術手段]

脆性襯底的分斷方法具有以下步驟。