[發明專利]脆性襯底的分斷方法

有效

• 申請號: 201580065513.3
• 申請日: 2015-11-12
• 公開（公告）號: CN107001103B
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發明（設計）人: 曾山浩
• 申請（專利權）人: 三星鉆石工業股份有限公司
• 主分類號: C03B33/023
• 分類號: C03B33/023;B28D5/00
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 楊林勛

1.一種脆性襯底的分斷方法，包含：

準備脆性襯底的步驟，所述脆性襯底具有第1面及與所述第1面相反的第2面，且具有垂直于所述第1面的厚度方向；及

通過一面將刀尖向所述脆性襯底的第1面上按壓，一面使所述刀尖在所述第1面上移動而在所述脆性襯底的所述第1面上產生塑性變形，由此形成溝槽線的步驟；且形成所述溝槽線的步驟以能夠獲得所述脆性襯底在所述溝槽線的正下方處在與所述溝槽線交叉的方向上連續相連的狀態即無裂紋狀態的方式進行，且形成所述溝槽線的步驟包含：

形成作為溝槽線的一部分的低負荷區間的步驟；及

形成作為溝槽線的一部分的高負荷區間的步驟；且在形成所述高負荷區間的步驟中對所述刀尖施加的負荷，高于在形成所述低負荷區間的步驟使用的負荷，該脆性襯底的分斷方法進而包含：

通過使所述厚度方向的所述脆性襯底的裂紋沿所述溝槽線僅在所述溝槽線中的所述高負荷區間伸展，而沿所述溝槽線的一部分形成裂紋線的步驟；及

在形成所述裂紋線的步驟后，沿所述溝槽線分斷所述脆性襯底的步驟；且分斷所述脆性襯底的步驟包含如下步驟，即，通過對所述脆性襯底施加應力而使裂紋以所述裂紋線為起點沿所述低負荷區間伸展。

2.根據權利要求1所述的脆性襯底的分斷方法，其中形成所述裂紋線的步驟包含如下步驟，即，伴隨著在所述脆性襯底的所述厚度方向滲透的裂紋，而在所述脆性襯底的所述第1面上形成交叉于所述高負荷區間的輔助線。

3.根據權利要求2所述的脆性襯底的分斷方法，其中形成所述裂紋線的步驟包含沿所述輔助線分離所述脆性襯底的步驟。

4.根據權利要求1所述的脆性襯底的分斷方法，其進而包含在所述脆性襯底的所述第2面上形成輔助線的步驟；且所述輔助線在平面布局中與所述高負荷區間交叉；且

形成所述裂紋線的步驟包含沿所述輔助線分離所述脆性襯底的步驟。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的脆性襯底的分斷方法，其進而包含如下步驟，即，在形成所述溝槽線的步驟后，通過一面將刀尖向所述脆性襯底的第1面上按壓，一面使所述刀尖在所述脆性襯底的所述第1面上移動而在所述脆性襯底的所述第1面上產生塑性變形，由此在所述第1面上形成與所述溝槽線的所述低負荷區間交叉的交叉溝槽線；且形成所述交叉溝槽線的步驟是以能夠獲得所述脆性襯底在所述交叉溝槽線的正下方處在與所述交叉溝槽線交叉的方向上連續相連的狀態即無裂紋狀態的方式進行；且

該脆性襯底的分斷方法進而包含如下步驟，即，沿所述交叉溝槽線形成伴隨著在所述脆性襯底的所述厚度方向上滲透的裂紋的裂紋線。

6.根據權利要求1所述的脆性襯底的分斷方法，其進而包含如下步驟，即，在形成所述溝槽線的步驟前，通過一面利用施加負荷而將刀尖向所述脆性襯底的第1面上按壓，一面使所述刀尖在所述第1面上移動而在所述脆性襯底的所述第1面上產生塑性變形，由此在所述第1面上形成與所述溝槽線的所述高負荷區間交叉的交叉溝槽線；且形成所述交叉溝槽線的步驟是以能夠獲得所述脆性襯底在所述交叉溝槽線的正下方處在與所述交叉溝槽線交叉的方向上連續相連的狀態即無裂紋狀態的方式進行；且

形成所述裂紋線的步驟是通過如下方式進行，即，使裂紋沿所述交叉溝槽線伸展而分離所述脆性襯底。

7.根據權利要求1所述的脆性襯底的分斷方法，其中在進行使所述裂紋伸展的步驟時，同時進行形成所述低負荷區間的步驟，由此，延長所述低負荷區間。