[發(fā)明專利]等離子體處理檢測油墨組合物以及使用其的等離子體處理檢測指示器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580063227.3
• 申請日: 2015-11-24
• 公開（公告）號: CN107001837B
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 菱川敬太;采山和弘
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社櫻花彩色筆
• 主分類號: C09D11/50
• 分類號: C09D11/50
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;謝順星

本發(fā)明提供一種等離子體處理檢測油墨組合物，其用于形成通過等離子體處理而變色的變色層，且可將因等離子體處理所導(dǎo)致的變色層氣體化或形成微細(xì)碎屑而飛散的問題，抑制到不影響電子設(shè)備特性的程度，并且，具有良好耐熱性。具體而言，本發(fā)明提供一種等離子體處理檢測油墨組合物，其用于形成通過等離子體處理而變色的變色層，其特征在于，該油墨組合物含有金屬氧化物顆粒及粘合劑樹脂，所述金屬氧化物顆粒含有選自由Mo、W、Sn、V、Ce、Te及Bi組成的組中的至少一種元素。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種等離子體處理檢測油墨組合物以及使用該等離子體處理檢測油墨組合物的等離子體處理檢測油墨，特別涉及一種作為在電子設(shè)備制備裝置中使用的指示器有用的、使用有金屬氧化物顆粒作為變色成分的等離子體處理檢測油墨組合物及使用該等離子體處理檢測油墨組合物的等離子體處理檢測指示器。

背景技術(shù)

以往，電子設(shè)備的制造工序中，對電子設(shè)備基板(被處理基板)進(jìn)行各種處理。例如，電子設(shè)備為半導(dǎo)體時，投入半導(dǎo)體晶圓(晶圓)后，經(jīng)過形成絕緣膜或金屬膜的成膜工序、形成光刻膠圖案的光蝕刻工序、使用光刻膠圖案對膜進(jìn)行加工的蝕刻工序、在半導(dǎo)體晶圓上形成導(dǎo)電層的雜質(zhì)添加工序(另外稱為摻雜或擴(kuò)散工序)、研磨具有凹凸的膜的表面使其平坦的CMP工序(化學(xué)性機(jī)械性研磨)等，進(jìn)行確認(rèn)圖案的完成或電特性的半導(dǎo)體晶圓電特性檢查(有時將至此的工序總稱為前工序)。接著，移至形成半導(dǎo)體芯片的后工序。這樣的前工序，不僅限于電子設(shè)備為半導(dǎo)體的情況，同樣也應(yīng)用在制造其他電子設(shè)備(發(fā)光二極管(LED)、太陽能電池、液晶顯示器、有機(jī)EL(Electro-Luminescence)顯示器等)上。

在前工序中，除了上述的工序以外，還包括利用等離子體、臭氧、紫外線等的清洗工序；利用等離子體、含自由基的氣體等進(jìn)行的光刻膠圖案的去除工序(也稱為灰化或灰化去除)等工序。此外，在上述成膜工序中，有在晶圓表面使反應(yīng)性氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而成膜的CVD、或形成金屬膜的濺射等，此外，上述蝕刻工序中，可列舉出：利用在等離子體中的化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行的干式蝕刻、利用離子束進(jìn)行的蝕刻等。在此，等離子體是指氣體呈電離狀態(tài)，離子、自由基及電子存在于其內(nèi)部。

在電子設(shè)備的制造工序中，為了確保電子設(shè)備的性能、信賴性等，需要適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行上述的各種處理。因此，例如，在以成膜工序、蝕刻工序、灰化工序、雜質(zhì)添加工序、清洗工序等為代表的等離子體處理中，為了確認(rèn)等離子體處理的完成，實(shí)施：使用分光裝置的等離子體的發(fā)光分析、使用有具有在等離子體處理氛圍下變色的變色層的等離子體處理檢測指示器的結(jié)束確認(rèn)等。

作為等離子體處理檢測指示器的例子，專利文獻(xiàn)1中公開了一種等離子體處理檢測油墨組合物，其含有：1)蒽醌類色素、偶氮類色素及酞菁類色素中的至少1種；以及2)粘合劑樹脂、陽離子型表面活性劑及增量劑中的至少1種，其特征在于：所述等離子體處理中所使用的用于產(chǎn)生等離子體的氣體，含有氧氣及氮?dú)庵械闹辽?種；并且，還公開了一種等離子體處理檢測指示器，其在基材上形成有由該油墨組合物形成的變色層。

此外，專利文獻(xiàn)2中公開了一種等離子體處理檢測油墨組合物，其含有：1)蒽醌類色素、偶氮類色素及次甲基類色素中的至少1種；以及2)粘合劑樹脂、陽離子型表面活性劑及增量劑中的至少1種的惰性氣體，其特征在于：所述惰性氣體含有選自由氦、氖、氬、氪及氙組成的組中的至少1種；并且，還公開了一種等離子體處理檢測指示器，其在基材上形成有由該油墨組合物形成的變色層。