[發明專利]等離子體處理檢測油墨組合物以及使用其的等離子體處理檢測指示器

有效

• 申請號: 201580063227.3
• 申請日: 2015-11-24
• 公開（公告）號: CN107001837B
• 公開（公告）日: 2020-11-10
• 發明（設計）人: 菱川敬太;采山和弘
• 申請（專利權）人: 株式會社櫻花彩色筆
• 主分類號: C09D11/50
• 分類號: C09D11/50
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶;謝順星

1.一種等離子體處理檢測油墨組合物，其用于形成通過等離子體處理而變色的變色層，其特征在于，含有金屬氧化物顆粒及粘合劑樹脂，所述金屬氧化物顆粒含有選自由Mo、W、V、Ce、Te及Bi組成的組中的至少一種元素，所述等離子體處理檢測油墨組合物中的所述金屬氧化物顆粒的含量為30～90重量％。

2.根據權利要求1所述的等離子體處理檢測油墨組合物，其中，所述金屬氧化物顆粒含有選自由MoO₂顆粒、MoO₃顆粒、WO₃顆粒、VO顆粒、V₂O₃顆粒、VO₂顆粒、V₂O₅顆粒、CeO₂顆粒、TeO₂顆粒及Bi₂O₃顆粒組成的組中的至少一種。

3.根據權利要求1或2所述的等離子體處理檢測油墨組合物，其中，所述金屬氧化物顆粒含有選自由MoO₃顆粒、WO₃顆粒、V₂O₃顆粒、V₂O₅顆粒及Bi₂O₃顆粒組成的組中的至少一種。

4.根據權利要求1或2所述的等離子體處理檢測油墨組合物，其中，所述金屬氧化物顆粒的平均粒徑為50μm以下。

5.根據權利要求1或2所述的等離子體處理檢測油墨組合物，其中，所述粘合劑樹脂含有選自由石油類烴樹脂、乙烯基樹脂、丁醛樹脂、醇酸樹脂、丙烯酸樹脂、環氧樹脂、聚氨酯樹脂、丙烯腈樹脂、氟樹脂、有機硅樹脂、甲醛樹脂、聚酯樹脂、酮樹脂、聚酰胺樹脂、馬來酸樹脂、苯并呋喃樹脂、聚酰亞胺樹脂、聚醚醚酮樹脂以及脂環族樹脂組成的組中的至少一種。

6.根據權利要求1或2所述的等離子體處理檢測油墨組合物，其中，所述粘合劑樹脂的軟化點為70℃以上。

7.一種等離子體處理檢測指示器，其在基材上，具有由權利要求1～6中任一項所述的等離子體處理檢測油墨組合物的固化涂膜形成的變色層。

8.根據權利要求7所述的等離子體處理檢測指示器，其為電子設備制造裝置中使用的指示器。

9.根據權利要求8所述的等離子體處理檢測指示器，其中，所述指示器的形狀與所述電子設備制造裝置中使用的電子設備基板的形狀相同。

10.根據權利要求8或9所述的等離子體處理檢測指示器，其中，所述電子設備制造裝置，進行選自由成膜工序、蝕刻工序、灰化工序、雜質添加工序及清洗工序組成的組中的至少一種的等離子體處理。

11.根據權利要求7～9中任一項所述的等離子體處理檢測指示器，其具有不因等離子處理而變色的非變色層。

12.根據權利要求11所述的等離子體處理檢測指示器，其中，所述非變色層含有選自由TiO₂、ZrO₂、Y₂O₃、硫酸鋇、氧化鎂、二氧化硅、氧化鋁、鋁、銀、釔、鋯、鈦、鉑組成的組中的至少一種。

13.根據權利要求11所述的等離子體處理檢測指示器，其中，所述基材上依次形成有所述非變色層及所述變色層，所述非變色層鄰接形成于所述基材的主面上，所述變色層鄰接形成于所述非變色層的主面上。