[發明專利]光電混合基板及其制法

有效

• 申請號: 201580062016.8
• 申請日: 2015-11-25
• 公開（公告）號: CN107209324B
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 田中直幸;辻田雄一
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: G02B6/122
• 分類號: G02B6/122;H05K1/02
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種光電混合基板，其具備：電路基板，其具有絕緣層及在該絕緣層的表面形成的電布線；以及光波導，該光電混合基板的特征在于，

上述光波導隔著金屬層設置在上述電路基板的絕緣層背面側，

上述光波導的俯視形狀為細長的大致矩形形狀，在從俯視的方向觀察該光波導時，上述光波導的長度方向的至少一端部與上述金屬層以使光波導端部的輪廓位于金屬層的輪廓的內側的配置形式重疊，

上述金屬層中的與光波導端部的輪廓部重疊的區域的至少一部分被去除而形成開口部，以光波導的一部分進入該開口部內的狀態來形成光波導。

2.根據權利要求1所述的光電混合基板，其中，上述金屬層的開口部沿光波導端部的輪廓部間斷地形成多個。

3.一種光電混合基板，其具備：電路基板，其具有絕緣層及在該絕緣層的表面形成的電布線；以及光波導，該光電混合基板的特征在于，

上述光波導隔著金屬層設置在上述電路基板的絕緣層背面側，

上述光波導的俯視形狀為細長的大致矩形形狀，在從俯視的方向觀察該光波導時，上述光波導的長度方向的至少一端部與上述金屬層以使彼此的輪廓重疊的配置形式重疊或以使光波導端部的輪廓位于金屬層的輪廓的外側的配置形式重疊，

上述金屬層中的金屬層自身的輪廓部與光波導端部重疊的區域的至少一部分被去除而形成開口部，以光波導的一部分進入該開口部內的狀態來形成光波導。

4.根據權利要求3所述的光電混合基板，其中，上述金屬層的開口部沿金屬層自身的輪廓部間斷地形成多個。

5.一種光電混合基板，其具備：電路基板，其具有絕緣層及在該絕緣層的表面形成的電布線；以及光波導，該光電混合基板的特征在于，

上述光波導直接設置在上述電路基板的絕緣層背面側，

上述光波導的俯視形狀為細長的大致矩形形狀，在從俯視的方向觀察該光波導時，上述光波導的長度方向的至少一端部與上述絕緣層以使光波導端部的輪廓位于絕緣層的輪廓的內側的配置形式重疊，

上述絕緣層中的與光波導端部的輪廓部重疊的區域的至少一部分形成為凹部，以光波導的一部分進入該凹部內的狀態來形成光波導。

6.根據權利要求5所述的光電混合基板，其中，上述絕緣層的凹部沿光波導端部的輪廓部間斷地形成多個。

7.一種光電混合基板，其具備：電路基板，其具有絕緣層及在該絕緣層的表面形成的電布線；以及光波導，該光電混合基板的特征在于，

上述光波導直接設置在上述電路基板的絕緣層背面側，

上述光波導的俯視形狀為細長的大致矩形形狀，在從俯視的方向觀察該光波導時，上述光波導的長度方向的至少一端部與上述絕緣層以使彼此的輪廓重疊的配置形式重疊或以使光波導端部的輪廓位于絕緣層的輪廓的外側的配置形式重疊，

上述絕緣層中的絕緣層自身的輪廓部與光波導端部重疊的區域的至少一部分形成為凹部，以光波導的一部分進入該凹部內的狀態來形成光波導。

8.根據權利要求7所述的光電混合基板，其中，上述絕緣層的凹部沿絕緣層自身的輪廓部間斷地形成多個。

9.一種光電混合基板的制法，其特征在于，具備：

準備電路基板的工序，該電路基板在絕緣層的表面形成有電布線且同樣地在絕緣層的背面形成有金屬層；及

光波導形成工序，其針對上述金屬層以光波導的俯視形狀成為細長的大致矩形形狀的方式形成該光波導，此時，形成為在從俯視的方向觀察上述光波導時上述光波導的長度方向的至少一端部配置成光波導端部的輪廓位于金屬層的輪廓的內側的狀態，

在上述準備電路基板的工序中，將上述金屬層的與光波導端部的輪廓部重疊的預定區域的至少一部分去除而形成開口部，在上述光波導形成工序中，以使光波導的一部分進入上述金屬層的開口部內的狀態來形成光波導。

10.根據權利要求9所述的光電混合基板的制法，其中，在上述準備電路基板的工序中，將上述金屬層的開口部沿光波導端部的輪廓部間斷地形成多個。