[發(fā)明專利]蒸鍍裝置、蒸鍍方法及有機(jī)電致發(fā)光元件的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580061590.1
• 申請(qǐng)日: 2015-11-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107002224B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 市原正浩;松本榮一;小林勇毅;菊池克浩;川戶伸一;越智貴志;松永和樹(shù);井上智
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 夏普株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;H01L21/68;H01L51/50;H05B33/10
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 謝志為

1.一種蒸鍍裝置，一邊在第一方向運(yùn)送基板一邊進(jìn)行蒸鍍，其特征在于，包含：

掩膜，其包含第一端部、設(shè)在所述第一端部的相反側(cè)的第二端部、及設(shè)置有圖案形成用的多個(gè)開(kāi)口的主面部；

基板托盤，其包含保持基板的基板保持部、及從所述基板保持部向與和所述基板平行的平面交叉的方向突出且沿著所述第一方向被設(shè)置的導(dǎo)引部；

運(yùn)送導(dǎo)件，其將所述基板托盤往所述第一方向?qū)б允顾龌灞３植考八鰧?dǎo)引部分別與所述主面部及所述第一端部對(duì)向；

距離測(cè)定裝置，其被設(shè)置在所述第一端部或所述導(dǎo)引部；以及

驅(qū)動(dòng)裝置，其連接于所述第二端部；

所述距離測(cè)定裝置，在所述導(dǎo)引部與所述第一端部對(duì)向時(shí)，測(cè)定所述距離測(cè)定裝置與所述導(dǎo)引部或所述第一端部之間的距離；

所述驅(qū)動(dòng)裝置，基于所述距離測(cè)定裝置的測(cè)定值，在與所述第一方向正交的第二方向驅(qū)動(dòng)所述掩膜。

2.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述距離測(cè)定裝置是光學(xué)式距離測(cè)定裝置。

3.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述距離測(cè)定裝置是接觸式距離測(cè)定裝置，被設(shè)置在所述導(dǎo)引部。

4.如權(quán)利要求3所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述接觸式距離測(cè)定裝置包含可以伸縮的距離測(cè)定部、與以可以旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下支撐于所述距離測(cè)定部的滾輪。

5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置，具備多個(gè)所述距離測(cè)定裝置，且具備兩個(gè)所述驅(qū)動(dòng)裝置；

所述兩個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置，連接于所述第二端部在所述第一方向之不同處。

6.如權(quán)利要求5所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述多個(gè)距離測(cè)定裝置的每一個(gè)，是包含可以伸縮的距離測(cè)定部、與以可以旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下支撐于所述距離測(cè)定部的滾輪的接觸式距離測(cè)定裝置；

所述多個(gè)距離測(cè)定裝置，在所述多個(gè)距離測(cè)定部在所述第二方向可以伸縮的狀態(tài)下，且所述多個(gè)滾輪在所述第一方向可以旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下，沿著所述第一方向被設(shè)置在所述導(dǎo)引部的整體；

所述第一端部包含所述導(dǎo)引部與所述第一端部對(duì)向的時(shí)候與所述多個(gè)滾輪接觸的接觸部；

所述滾輪接觸部在所述第一方向的中間部為平坦；

所述導(dǎo)引部與所述第一端部對(duì)向的時(shí)候，所述多個(gè)滾輪之中的至少兩個(gè)接觸所述中間部；

該距離測(cè)定裝置通過(guò)至少兩個(gè)距離測(cè)定部分別收縮而測(cè)定該距離測(cè)定裝置與所述第一端部之間的距離，其中，所述至少兩個(gè)距離測(cè)定部支撐所述至少兩個(gè)滾輪，所述至少兩個(gè)滾輪與所述中間部接觸。

7.如權(quán)利要求5所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述多個(gè)距離測(cè)定裝置的每一個(gè)，是包含可以伸縮的距離測(cè)定部、與以可以旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下支撐于所述距離測(cè)定部的滾輪的接觸式距離測(cè)定裝置；

所述多個(gè)距離測(cè)定裝置，被設(shè)置在所述導(dǎo)引部；

所述第一端部，包含所述導(dǎo)引部與所述第一端部對(duì)向的時(shí)候所述多個(gè)滾輪接觸的滾輪接觸部；

所述滾輪接觸部，在所述基板運(yùn)送的上游側(cè)及下游側(cè)，部分地向所述第二端部側(cè)傾斜。

8.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置以可拆裝的狀態(tài)被連接于所述第二端部。

9.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的蒸鍍裝置，其特征在于，具備：

蒸鍍?cè)矗灰约?/p>

限制板，其設(shè)在所述蒸鍍?cè)醇八鲅谀ぶg；

所述蒸鍍?cè)磁c所述限制板，不接觸所述掩膜。

10.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述主面部包含對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記；

所述蒸鍍裝置具備可以同時(shí)攝影所述對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與設(shè)在保持于所述基板保持部的基板的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的攝像裝置。