[發明專利]接觸測試裝置

有效

• 申請號: 201580060261.5
• 申請日: 2015-12-24
• 公開（公告）號: CN107003335B
• 公開（公告）日: 2020-05-22
• 發明（設計）人: 金日
• 申請（專利權）人: 金日
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R1/067
• 代理公司: 北京青松知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

本發明關于一種接觸測試裝置，其包含第一導引板、第二導引板、中介板及多個探針，其中第一導引板具有多個第一探針孔，第二導引板平行第一導引板設置，并具有多個第二探針孔；中介板設置于第一導引板及第二導引板之間，并具有多個中介孔；多個探針插入多個第一探針孔、多個第二探針孔及多個中介孔，中介板相對于第一導引板及第二導引板為可移動的。探針的至少一部分彎曲，且彎曲部分鄰接中介孔的壁面。根據本發明的接觸測試裝置，即使探針上未形成絕緣包覆，亦可有效避免以微小節距配置的探針間的短路，且可便利地更換探針而無需拆解接觸測試裝置。

技術領域

本發明是關于一種接觸測試裝置，其提供于測試半導體集成電路之電特性的探針卡，或測試半導體封裝印刷電路板之電特性的電性測試治具。

背景技術

接觸測試裝置為一種與電子組件接觸并傳送電訊號到電子組件，以檢查電子組件(電子裝置)的裝置，電子組件例如根據精確規格制造的半導體集成電路或半導體封裝印刷電路板。

表面形成有電極的電子組件是為要歷經測試的測試物(待測件(DUT))，設置于接觸測試裝置的探針一端與測試物的電極接觸，而探針的另一端與空間轉換器接觸。空間轉換器通過印刷電路板連接測試機臺，并測試測試物。亦即，接觸測試裝置于測試期間是用作為電連接測試物及空間轉換器的媒介。

圖1為習知接觸測試裝置6的結構剖面示意圖。習知接觸測試裝置6包含多個探針40及導引板10、20，其中導引板10、20為非導體且具有讓探針插入的多個探針孔15及25。圖1圖示眼鏡蛇探針(cobra probe)作為探針40的例子，然而其他直線形探針亦可用作為探針40。各導引板10、20的中間部分具有凹槽，因此中間部分的厚度相當小，讓探針40插入的探針孔15及25精確地形成于導引板10、20的中間部分。探針40兩端的直線部分別插入形成于導引板10、20的探針孔15及25。探針40可在探針孔15及25內垂直移動，探針40兩端的尖端分別與測試物及空間轉換器接觸。

典型地，接觸測試裝置與空間轉換器(未圖示)一體組裝及使用，增加電極之間的距離。當接觸測試裝置6與測試物(未圖示)緊密接觸時，探針40在測試物及空間轉換器之間被垂直壓迫。然后探針40的中間部會彈性變形，而測試物及空間轉換器通過探針40電連接。

當探針40與測試物接觸時，若探針40的中間部全朝相同方向彎曲且彎曲程度相同，則多個探針40之間可維持固定的距離，因此探針40之間不會發生電性短路。然而，探針40的長度或測試物的電極高度不一致時，各探針40受垂直壓迫的距離會不同。因此原由，相鄰探針彎曲的程度可能彼此不同，且因為此變形量的差異，探針的中間部會接觸另一個探針的鄰近中間部，而使探針之間發生短路。此問題在接觸測試裝置之探針以微小節距密集配置時尤其嚴重。

為解決測試過程中探針間發生的短路問題，探針40的中間部通常涂覆絕緣包覆41。然而，逐一涂覆絕緣材料于微小探針的方法會造成產量不佳的問題，且在涂覆絕緣材料于探針的過程中探針會變形。

習知接觸測試裝置6的另一問題在于探針40不易更換。在接觸測試裝置6組裝完成而有不良探針時，或當接觸測試裝置使用中探針損壞時，需要更換探針，然而探針的更換程序非常復雜又困難。習知接觸測試裝置6中，探針40的中間部具有厚的部分，而使探針40保持在組裝于接觸測試裝置的狀態。亦即，習知接觸測試裝置中，探針的厚部分卡在探針孔15及25而不會從探針孔15及25退出，因此使探針保持在組裝于接觸測試裝置的狀態。

因此，為了更換探針40，接觸測試裝置6必須與空間轉換器分離，然后接觸測試裝置6的導引板10、20必須彼此分離。

發明內容

要解決的問題

本發明致力于提供一種接觸測試裝置，其能避免以微小節距配置的探針之間發生短路。

本發明亦致力于提供一種接觸測試裝置，其容許輕易地更換探針。