[發明專利]具有應力消除結構的探針卡有效
| 申請號： | 201580058918.4 | 申請日： | 2015-09-18 |
| 公開（公告）號： | CN107110890B | 公開（公告）日： | 2020-12-04 |
| 發明（設計）人： | 約翰·L·戴克李;威廉·A·芬克 | 申請（專利權）人： | 塞萊敦體系股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/067 | 分類號： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 深圳中一專利商標事務所 44237 | 代理人： | 陽開亮 |
| 地址： | 美國明尼蘇達州553*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 應力 消除 結構 探針 | ||
1.一種探針卡組件，包括：
探針卡板；
探針芯，其中所述探針芯包括用于將所述探針芯固定至所述探針卡板上的粘接部；以及
膨脹隙，所述膨脹隙限定在所述探針卡板中，其中所述膨脹隙圍繞所述探針芯延伸并環繞所述探針芯；
其中所述探針芯的所述粘接部在所述探針卡板的深度方向與所述探針卡板的至少一部分重疊。
2.根據權利要求1所述的探針卡組件，其特征在于，所述探針卡板和所述探針芯由具有不同熱膨脹特性的不同材料制成。
3.根據權利要求1所述的探針卡組件，其特征在于，所述膨脹隙具有大于或等于所述探針芯的高度的深度。
4.根據權利要求1所述的探針卡組件，其特征在于，還包括一個或多個額外的探針芯，每一個所述一個或多個額外的探針芯包括相應的膨脹隙。
5.根據權利要求1所述的探針卡組件，其特征在于，所述膨脹隙具有可變的寬度。
6.一種探針卡組件，包括：
探針卡板；
管狀部，所述管狀部設置成插入至所述探針卡板的開口中并且設置成牢固地固定至所述探針卡板上，其中所述管狀部包括一個或多個膨脹隙，所述一個或多個膨脹隙形成在所述管狀部的鄰近所述探針卡板的表面上，并且所述一個或多個膨脹隙以與所述管狀部的縱軸大致平行的方向從所述管狀部的第一端延伸至所述管狀部的第二端；以及
探針芯，其中，所述探針芯包括用于將所述探針芯固定至所述管狀部上的粘接部。
7.根據權利要求6所述的探針卡組件，其特征在于，所述管狀部牢固地固定至所述探針卡板上，以使得間隙保持在所述管狀部的表面和所述探針卡板的表面之間。
8.根據權利要求6所述的探針卡組件，其特征在于，所述管狀部焊接至所述探針卡板上。
9.根據權利要求6所述的探針卡組件，其特征在于，所述管狀部由與所述探針卡板不同的材料制成。
10.根據權利要求6所述的探針卡組件，其特征在于，所述探針芯的粘接部與所述管狀部的至少一部分重疊。
11.根據權利要求6所述的探針卡組件，其特征在于，所述管狀部和所述探針芯由具有不同熱膨脹特性的不同材料制成。
12.根據權利要求6所述的探針卡組件，其特征在于，還包括一個或多個額外的探針芯，每一個所述一個或多個額外的探針芯包括用于將所述一個或多個額外的探針芯固定至所述探針卡板上的相應的管狀部。
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