[發(fā)明專利]極紫外波長范圍的掩模的制造方法、掩模和設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580058065.4
• 申請日: 2015-08-26
• 公開（公告）號: CN107148596B
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: J-H.彼得斯;J.F.布魯姆里奇;A.加雷托;R.卡佩利
• 申請（專利權(quán)）人: 卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司
• 主分類號: G03F1/22
• 分類號: G03F1/22;G03F1/24;G03F1/72;G03F1/84
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 王蕊瑞

1.一種由掩模坯體(250，350，550，950)制造極紫外波長范圍的掩模的方法，所述掩模坯體具有缺陷(220，320，520，620，920)，其中，所述方法包括下列步驟：

a.將所述缺陷(220，320，520，620，920)歸類為至少一個第一組和至少一個第二組，其中所述至少一個第一組包括不可修復(fù)缺陷，所述至少一個第二組包括可修復(fù)缺陷；

b.將優(yōu)先權(quán)分配給所述至少一個第二組的缺陷，其中所述優(yōu)先權(quán)包括：用于修復(fù)所述至少一個第二組的缺陷的費用，和/或當(dāng)修復(fù)所述至少一個第二組的缺陷時的風(fēng)險，和/或當(dāng)修復(fù)所述至少一個第二組的缺陷時的復(fù)雜度和/或所述至少一個第二組的缺陷的有效缺陷尺寸(370，740)；

c.優(yōu)化所述掩模坯體(250，350，550，950)上的吸收體圖案(170)的布置，以通過布置的吸收體圖案(170)補償所述至少一個第一組的最大數(shù)量的缺陷；以及

d.將優(yōu)化的吸收體圖案(170)施加到所述掩模坯體(250，350，550，950)。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，還包括以下步驟：通過修復(fù)方法至少部分地修復(fù)所述至少一個第二組的缺陷。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，修復(fù)所述缺陷(220，320，520，620，920)包括修改施加的吸收體圖案(170)的至少一個元件和/或修改所述掩模坯體(250，350，550，950)的表面(260，360，560)的至少一個部分。

4.如權(quán)利要求1或2所述的方法，還包括以下步驟：

在施加到所述掩模坯體之前，進一步優(yōu)化所述吸收體圖案的一個或多個元件，以至少部分地補償所述至少一個第二組的一個或多個缺陷的效應(yīng)。

5.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，步驟c.包括：

通過制造集成電路的方法，從掩模疊層(940)的吸收體圖案中選擇吸收體圖案(170)。

6.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，步驟c.包括：

選擇所述掩模坯體(250，350，550)的取向、移位所述掩模坯體(250，350，550，950)和/或旋轉(zhuǎn)所述掩模坯體(250，350，550，950)。

7.如權(quán)利要求1或2所述的方法，還包括以下步驟：表征所述掩模坯體(250，350，550，950)的缺陷(220，320，520，620，920)，以確定通過修改吸收體圖案(170)是否能夠修復(fù)缺陷(220，320，520，620，920)或者是否必須通過優(yōu)化所述吸收體圖案(170)的布置補償缺陷(220，320，520，620，920)。

8.如權(quán)利要求7所述的方法，其中，表征所述缺陷(220，320，520，620，920)還包括：確定有效缺陷尺寸(370，740)，其中，所述有效缺陷尺寸(370，740)包括缺陷(220，320，520，620，920)這樣的部分：在其修復(fù)或補償之后，所述缺陷的剩余部分(380)不再在曝光的晶片上是可見的，和/或其中所述有效缺陷尺寸由表征缺陷(220，320，520，620，920)的誤差確定和/或基于用于曝光的光源的非遠心性確定。

9.如權(quán)利要求7所述的方法，其中，表征所述缺陷(220，320，520，620，920)還包括：確定所述缺陷(220，320，520，620，920)在所述掩模坯體(250，350，550，950)的多層結(jié)構(gòu)(240，340，540)中的傳播(660)。

10.如權(quán)利要求1或2所述的方法，其中，步驟a.包括：如果缺陷(220，320，520，620，920)不能通過表面敏感測量來檢測，如果缺陷(220，320，520，620，920)超過預(yù)定尺寸和/或如果在確定缺陷(220，320，520，620，920)的位置(430)時的不同測量方法產(chǎn)生不同結(jié)果，則將所述缺陷(220，320，520，620，920)歸類為至少一個第一組。