[發明專利]用于分集化及缺陷發現的動態分格

有效

• 申請號: 201580055533.2
• 申請日: 2015-10-19
• 公開（公告）號: CN106796180B
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發明（設計）人: M·普利哈爾;V·阿南塔
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 張世俊

1.一種用于產生晶片的缺陷樣本的計算機實施的方法，其包括：

獲取所述晶片的檢驗結果，其中所述檢驗結果包括通過檢驗過程而在所述晶片上檢測的缺陷的信息，且其中所述信息至少包括所述缺陷的一或多個第一屬性的第一集合及所述缺陷的一或多個第二屬性的第二集合的信息；

識別所述一或多個第一屬性的在所述一或多個第一屬性的值中具有最大分集的值；

基于所識別值而產生用于所述缺陷的分格的集合，使得所述分格中的每一者對應于所述所識別值的僅一部分且使得對應于所述分格的值在所述一或多個第一屬性上具有分集，其中產生所述分格的集合不包括對所述缺陷取樣，其中所述分格的集合在所述一或多個第一屬性上的分集化由所述集合中分格的數目控制，且其中所述集合中分格的所述數目在產生步驟之前從用戶接收；

基于對應于所述缺陷的所述一或多個第一屬性的值而將所述缺陷分離到所述分格中，其中直到所述分格的集合產生后才執行將所述缺陷分離到所述分格中；

基于所述一或多個第二屬性的值的分集而從所述分格中的一者選擇所述分格中的所述一者內的缺陷；

針對所述分格中的至少一者重復所述選擇；及

針對所述晶片創建包括選自所述分格中的所述一者及所述分格中的所述至少另一者的所述缺陷的缺陷樣本，其中由計算機系統執行所述獲取、所述識別、所述產生、所述分離、所述選擇、所述重復及所述創建。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述一或多個第一屬性包括所述晶片上的所述缺陷的一或多個背景屬性。

3.根據權利要求1所述的方法，其中所述一或多個第二屬性包括在所述檢驗過程中針對所述缺陷檢測的信號的一或多個特性。

4.根據權利要求1所述的方法，其中所述晶片具有未知缺陷率。

5.根據權利要求1所述的方法，其中由用戶選擇所述一或多個第一屬性。

6.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括：基于分離到所述分格中的所述缺陷而確定所述分格的一或多個特性；在所述選擇之前將所述一或多個特性顯示給用戶；及向所述用戶請求對所述一或多個特性的驗證。

7.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括：確定選自所述分格的所述缺陷的一或多個特性；在所述創建之前將所述一或多個特性顯示給用戶；及向所述用戶請求對所述一或多個特性的驗證。

8.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括：基于分離到所述分格中的所述缺陷而確定所述分格的第一特性；確定選自所述分格的所述缺陷的第二特性，其中所述第一特性與所述第二特性不同；在所述創建之前將所述第一特性及所述第二特性顯示給用戶；及向所述用戶請求對所述第一特性及所述第二特性的驗證。

9.根據權利要求1所述的方法，其中基于所述分集而執行所述選擇，使得選自所述分格中的所述一者的所述缺陷在所述一或多個第二屬性的值上具有最大分集。

10.根據權利要求1所述的方法，其中基于所述分集及一或多個樣本偏向參數而執行所述選擇。

11.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括：基于所述缺陷的一或多個第三屬性的值的分集而從所述分格中的所述一者單獨選擇所述分格中的所述一者內的缺陷，所述方法進一步包括：針對所述分格中的所述至少另一者重復所述單獨選擇，且其中創建所述缺陷樣本包括將從所述分格中的所述一者及所述分格中的所述至少另一者單獨選擇的所述缺陷新增到所述缺陷樣本。

12.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括：基于所述一或多個第二屬性的值而產生從中選擇所述缺陷的分格的子分格的集合，使得所述子分格中的每一者對應于所述一或多個第二屬性的值的僅一部分且使得對應于所述子分格的所述一或多個第二屬性的值在所述一或多個第二屬性上具有分集。