[發(fā)明專利]散熱部件及其制造方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201580054388.6 | 申請日： | 2015-08-05 |
| 公開（公告）號： | CN106796920B | 公開（公告）日： | 2019-09-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 后藤大助;宮川健志;石原庸介 | 申請（專利權(quán)）人： | 電化株式會社 |
| 主分類號： | H01L23/12 | 分類號： | H01L23/12;H01L23/14;H01L23/36 |
| 代理公司： | 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;張會華 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 散熱 部件 及其 制造 方法 | ||
1.散熱部件的制造方法，其為包括包含碳化硅和鋁合金的復(fù)合化部、具有翹曲的平板狀的散熱部件的制造方法，其特征在于，
用具有450℃以上的表面溫度、具有曲率半徑7000mm～30000mm的1對相對的球面的凹凸模夾持散熱部件，以該散熱部件的溫度成為450℃以上的溫度的方式用10KPa以上的應(yīng)力加壓30秒以上，
對于所述散熱部件，在將賦予翹曲前每10cm的翹曲量設(shè)為X，將賦予翹曲后每10cm的翹曲量設(shè)為(X+Y)，在320℃以下的溫度下將賦予翹曲后的散熱部件加熱處理1小時以上后的每10cm的翹曲量設(shè)為(X+Z)時，所述散熱部件的長度方向和寬度方向上的(Y-Z)均為18μm以下。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的散熱部件的制造方法，其特征在于，上述曲率半徑為20000mm～30000mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的散熱部件的制造方法，其特征在于，
采用根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制造方法制造的散熱部件，在將賦予翹曲前每10cm的翹曲量設(shè)為X，將賦予翹曲后每10cm的翹曲量設(shè)為(X+Y)，在320℃以下的溫度下將賦予翹曲后的散熱部件加熱處理1小時以上后每10cm的翹曲量設(shè)為(X+Z)時，在Y與Z之間滿足成為(Y-Z)＜(Y/2)的關(guān)系。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的散熱部件的制造方法，其特征在于，
采用根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制造方法制造的散熱部件，在將賦予翹曲前每10cm的翹曲量設(shè)為X，將賦予翹曲后每10cm的翹曲量設(shè)為(X+Y)，在320℃以下的溫度下將賦予翹曲后的散熱部件加熱處理1小時以上后的每10cm的翹曲量設(shè)為(X+Z)時，(Y/2)-(Y-Z)為1μm～80μm。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的散熱部件的制造方法，其特征在于，
采用根據(jù)權(quán)利要求3所述的制造方法制造的散熱部件，在將賦予翹曲前每10cm的翹曲量設(shè)為X，將賦予翹曲后每10cm的翹曲量設(shè)為(X+Y)，在320℃以下的溫度下將賦予翹曲后的散熱部件加熱處理1小時以上后的每10cm的翹曲量設(shè)為(X+Z)時，(Y/2)-(Y-Z)為1μm～80μm。
6.散熱部件，其為采用根據(jù)權(quán)利要求1-5的任一項所述的制造方法制造的散熱部件。
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