[發明專利]阻氣膜、電子器件及阻氣膜的制造方法

在審

• 申請號: 201580052107.3
• 申請日: 2015-09-16
• 公開（公告）號: CN106715117A
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發明（設計）人: 藥師寺隆
• 申請（專利權）人: 富士膠片株式會社
• 主分類號: B32B9/00
• 分類號: B32B9/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,黃綸偉

技術領域

本發明涉及一種利用于電子器件的制造等中的阻氣膜、利用該阻氣膜的電子器件及該阻氣膜的制造方法。

背景技術

在有機EL顯示器等顯示裝置、半導體裝置、太陽能電池等具有因水分而劣化的元件的各種電子器件；容納因水分或氧而變質的藥劑的輸液袋；容納同樣因水分或氧而劣化的食品的管或包裝袋等中利用阻氣膜。

阻氣膜中，作為一例具有如下結構：將聚對苯二甲酸乙二酯(PET)薄膜等樹脂薄膜作為支撐體，在該支撐體上形成有包含具有阻氣性的材料的阻氣層。

例如，專利文獻1中，作為包裝袋用阻氣膜(包裝袋用層疊膜)，記載有層疊型阻氣膜，該層疊型阻氣膜在支撐體上具有印刷層，在印刷層上具有粘結層，在粘結層上具有阻氣層，在阻氣層上具有密封膠層。

并且，專利文獻1中還記載有對支撐體實施用于使包裝袋的開封性良好的傷痕加工。而且，專利文獻1中還記載有在印刷層上形成用于對傷痕加工的形成位置進行定位的識別標記(注視標記(eye mark))。

這種阻氣膜中，作為可得到更高的阻氣性的結構，已知有具有有機無機層疊結構的阻氣膜，該有機無機層疊結構通過交替形成成為基底層(底涂層)的有機層和包含形成于該有機層上的無機化合物的無機層而成。該阻氣膜中的阻氣性主要在無機層顯現。

具有有機無機層疊結構的阻氣膜通過具有成為基底層的有機層而能夠將顯現阻氣性的無機層作為連續膜而適當地形成，因此具有非常高的阻氣性。并且，還已知通過具有多個有機層與無機層的層疊結構，可得到更高的阻氣性。

作為具有有機無機層疊結構的阻氣膜，例如專利文獻2中記載有如下阻氣膜(阻隔性薄膜基板)：在塑料薄膜的表面具有包含至少一層有機層和至少兩層無機層的有機層與無機層的交替層疊體，有機層包含選自聚脲、聚氨酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚丙烯酸酯及聚丙烯酸甲酯中的一種以上的有機化合物，并且有機化合物的99.5質量％以上在25℃下為固體。

然而，有機電致發光器件(有機EL器件)或太陽能電池等電子器件通常形成在玻璃基板上。

相對于此，近年來，可實現輕量性和柔性優異的電子器件，因此開始將樹脂薄膜用作基板。通過將樹脂薄膜用作電子器件的基板，能夠以輥對輥(Roll to Roll)的方式制作，因此在生產效率和生產成本方面也有利。

在此，通常有機EL器件或太陽能電池的耐水性較弱，容易因水分而劣化。因此，將阻氣膜作為基板而制作有機EL器件等，由此還可考慮到防止水分的進入。

例如，上述專利文獻2中記載有將具有有機無機層疊結構的阻氣膜作為基板而制作有機EL器件的內容。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2009-102048號公報

專利文獻2：日本特開2007-30387號公報

發明內容

發明要解決的技術課題

為了將具有有機無機層疊結構的阻氣膜作為基板而制作電子器件，需要形成如專利文獻1中所述的識別標記，以使進行元件的形成部件的對位等。

然而，具有有機無機層疊結構的阻氣膜中，主要顯現阻氣性的無機層較硬且較脆。因此，根據識別標記的形成位置，無機層中應力集中在局部而導致損傷無機層，且導致阻氣性大幅降低。

并且，用作電子器件的基板的阻氣膜中并不存在如專利文獻1所示的包裝袋用阻氣膜那樣可形成識別標記的印刷層。

本發明的目的在于解決這種以往技術的問題點，且在于提供一種阻氣膜、利用該阻氣膜的電子器件及該阻氣膜的制造方法，該阻氣膜可較佳地利用于如有機EL器件的電子器件的制造等，且具有識別標記，其中，該阻氣膜具有基于有機無機層疊結構的較高的阻氣性，而且還可防止由識別標記引起的無機層的損傷。

用于解決技術課題的手段

為了解決該課題，本發明提供一種阻氣膜，該阻氣膜的特征在于，具有：支撐體；有機無機層疊結構，形成在支撐體上且具有至少一層有機層及至少一層無機層，并交替層疊有機層及無機層而成；及識別標記，形成于至少一層有機層的形成面。

這種本發明的阻氣膜中，優選在支撐體的表面形成識別標記及有機層。

并且，優選形成于識別標記的形成面的有機層吸收因識別標記而產生的凹凸而具有平坦的表面。

并且，優選形成于識別標記的形成面的有機層具有識別標記的兩倍以上的厚度。

而且，優選識別標記的厚度為200nm以下，且形成于識別標記的形成面的有機層的厚度為500nm以上。

并且，本發明提供一種電子器件，其特征在于，在本發明的阻氣膜上形成有構成電子器件的電子元件。