[發明專利]容器收納裝置

有效

• 申請號: 201580051716.7
• 申請日: 2015-09-17
• 公開（公告）號: CN106716598B
• 公開（公告）日: 2020-08-14
• 發明（設計）人: 園田主稅;宮原強;大川勝宏;宇都宮由典;赤田光;長谷部和久
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01L21/027
• 分類號: H01L21/027;B05C11/10;G03F7/26
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;王磊

1.一種容器收納裝置，其收納多個存積有半導體制造用的處理液的容器，所述容器收納裝置的特征在于，包括：

載置所述容器的多個載置臺；

檢測所述容器內的處理液的液量的液量檢測機構；和

移動部件，其為相對于所述載置臺另外設置的部件，配置在阻礙為了更換所述載置臺上的所述容器而使該容器從所述載置臺移動的位置，且在由所述液量檢測機構檢測出的所述容器內的處理液的液量低于規定的值時相對于所述載置臺上的容器的相對位置發生變化，從阻礙用于更換所述容器的移動的位置退避，

所述移動部件相對于所述載置臺上的容器的相對位置，與由所述液量檢測機構檢測出的液量相應地發生變化。

2.如權利要求1所述的容器收納裝置，其特征在于：

所述液量檢測機構是根據載置于所述載置臺的容器的重量而使高度方向的位置發生位移的位移機構，

所述位移機構連接有位移傳遞部件，所述位移傳遞部件將該位移機構的位置變化傳遞至所述移動部件而使該移動部件移動。

3.如權利要求1所述的容器收納裝置，其特征在于：

所述液量檢測機構包括根據載置于所述載置臺的容器的重量而使內部的氣體體積發生變化的空氣氣囊，

所述空氣氣囊與氣缸機構連接，所述氣缸機構根據該空氣氣囊內部的氣體體積使所述移動部件移動。

4.如權利要求1～3中任一項所述的容器收納裝置，其特征在于：

所述移動部件是在所述容器的側方在上下方向上移動的阻擋件。

5.如權利要求1～3中任一項所述的容器收納裝置，其特征在于：

所述移動部件在所述容器內的處理液的液量為規定的值以上時，以阻礙所述容器的上下方向的移動的方式位于所述容器的上方，在所述容器內的處理液的液量低于規定的值時，移動到從所述容器的上方退避的位置。

6.一種容器收納裝置，其收納多個存積有半導體制造用的處理液的容器，所述容器收納裝置的特征在于，包括：

載置所述容器的多個載置臺；

移動部件，其為相對于所述載置臺另外設置的部件，配置在阻礙為了更換所述載置臺上的所述容器而使該容器從所述載置臺移動的位置；

驅動機構，其使所述移動部件移動；

流量檢測機構，其檢測從所述容器向外部供給的處理液的流量；和

控制部，其在所述流量檢測機構的檢測流量低于規定的值時，以使所述移動部件從阻礙用于更換所述容器的移動的位置退避的方式控制所述驅動機構。