[發明專利]傳遞方法和裝置以及計算機程序產品

有效

• 申請號: 201580051087.8
• 申請日: 2015-09-09
• 公開（公告）號: CN107077065B
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: M.A.維楚倫
• 申請（專利權）人: 皇家飛利浦有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張同慶;陳嵐

1.一種使柔性印模機械接觸襯底的方法，該方法包括步驟：

- （a）在柔性印模中形成具有印模凸起部分的至少局部的印模凸起；

- （b）將柔性印模相對于襯底定位，其中印模凸起部分為處于到襯底的第一非零距離處不與襯底接觸并且比局部印模凸起部分之外的柔性印模的部分更靠近襯底的局部印模凸起部分，或者為與襯底接觸的完整印模凸起部分；

- （c）使用位于印模凸起部分中的柔性印模特征和位于襯底上的襯底特征測量印模凸起部分與襯底之間的橫向對準；

- （d）在印模凸起部分保持在合適位置的同時確定是否需要調節橫向對準；

- （e）如果需要調節橫向對準，在維持局部印模凸起部分處于合適位置的同時或者在將完整印模凸起部分收回到局部印模凸起部分之后，通過相對于襯底橫向平移至少印模凸起部分進行橫向調節；以及

- （f）如果不需要調節橫向對準，或者在步驟（e）中進行橫向調節之后，如果存在處于合適位置的局部印模凸起部分，使印模凸起部分朝襯底前進以形成與襯底接觸的完整印模凸起部分。

2.如權利要求1所述的方法，其中：

- 步驟（b）包括在第一非零距離處形成局部印模凸起部分，其中印模凸起部分之外的柔性印模的部分與襯底之間的距離限定間隙距離；并且

- 局部印模凸起部分的高度為間隙距離的至少20%和/或至少10微米。

3.如權利要求1或2所述的方法，其中步驟（c）至（e）執行一次或多次，每次局部印模凸起部分處于合適位置，并且在執行步驟（f）之后，局部印模凸起部分變成完整印模凸起部分，使得至少該完整印模凸起部分與襯底機械接觸。

4.如權利要求1或2所述的方法，其中步驟（f）中使印模凸起部分前進包括生長局部印模凸起部分，和/或如果步驟（e）包括從襯底收回完整印模凸起部分，那么收回完整印模凸起部分包括收縮完整柔性印模凸起部分。

5.如權利要求1或2所述的方法，其中位于印模凸起部分中的柔性印模特征和/或位于襯底中的襯底特征為對準標記。

6.如權利要求1或2所述的方法，其中步驟（d）包括將測量的橫向對準與預定的最小橫向對準相比較，并且在測量的橫向對準比預定的最小橫向對準更差時，確定需要調節橫向對準。

7.如權利要求3所述的方法，其中柔性印模包括沖壓區域，并且其中該方法在步驟（f）之后包括步驟（g）：跨柔性印模移動或者延伸完整柔性印模凸起以使得與襯底機械接觸的印模凸起部分在沖壓區域中延伸。

8.如權利要求1、2、7中任一項所述的方法，其中柔性印模包括沖壓區域，并且其中步驟（a）包括：

- 跨柔性印模移動所述至少局部的印模凸起以使得在執行步驟（c）之前，至少整個沖壓區域是所述至少局部的印模凸起的部分。

9.如權利要求8所述的方法，其中步驟（a）中跨柔性印模移動所述至少局部的印模凸起包括：

- 所述至少局部的印模凸起是完整的局部印模凸起，其印模凸起部分與啞襯底機械接觸；

- 在跨柔性印模移動所述至少局部的印模凸起之后，從啞襯底收回完整印模凸起以形成所述至少局部的印模凸起；以及

- 在執行步驟（c）之前，利用所述襯底替換啞襯底。

10.一種壓印方法，包括如前面的權利要求中任何一項所述的使柔性印模機械接觸襯底的方法，其中柔性印模包括沖壓區域，其中沖壓區域包括要傳遞至襯底的可壓印表面的浮雕圖案。

11.一種可從通信網絡下載和/或存儲在計算機可讀和/或微處理器可執行介質上的計算機程序產品，該計算機程序產品包括用于實現如權利要求1-9中任何一項所述的使柔性印模機械接觸襯底的方法或如權利要求10所述的壓印方法的計算機程序代碼指令。