[發(fā)明專利]試樣保持裝置、太陽(yáng)能電池的制造方法及太陽(yáng)能電池模塊的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580050720.1
• 申請(qǐng)日: 2015-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107078084B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 末崎恭;三島良太
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社鐘化
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L31/0224;H01L31/0747
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 劉曉迪

1.一種試樣保持裝置，將具備半導(dǎo)體基板的太陽(yáng)能電池的半成品設(shè)為需保持并抬起的試樣，具有與所述試樣相對(duì)的試樣保持面，在所述試樣保持面與試樣之間流過(guò)氣體從而產(chǎn)生負(fù)壓，通過(guò)該負(fù)壓將試樣吸引到試樣保持面?zhèn)龋谂c試樣保持面接近的位置對(duì)試樣進(jìn)行保持，其特征在于，

具有阻止試樣向試樣保持面的面方向移動(dòng)的定位部件，所述定位部件設(shè)于所述試樣保持面的周部，所述定位部件具有在保持了試樣的狀態(tài)時(shí)或在試樣偏移時(shí)與試樣的一部分接觸的接觸部，其中，如下的部位帶有圓弧或?yàn)榈菇切螤睿?/p>

(1)接觸部或與接觸部平緩地連續(xù)的部位的距試樣保持面遠(yuǎn)的一側(cè)的端部；

(2)在接觸部的背面?zhèn)染哂型庀虿浚撏庀虿康那岸藗?cè)的端部；

(3)具有同接觸部交叉或同與接觸部平緩地連續(xù)的部位交叉且相對(duì)于試樣保持面在平行方向或者傾斜的方向上擴(kuò)展的向下部、和同接觸部交叉或同與接觸部平緩地連續(xù)的部位交叉且在相對(duì)于試樣保持面交叉的方向上擴(kuò)展的側(cè)部，且由所述向下部、側(cè)部和接觸部或與接觸部平緩地連續(xù)的部位構(gòu)成的角部；

(4)在接觸部的背面?zhèn)染哂型庀虿浚哂型佑|部交叉或同與接觸部平緩地連續(xù)的部位交叉且相對(duì)于試樣保持面在平行方向或者傾斜的方向上擴(kuò)展的向下部、和同接觸部交叉或同與接觸部平緩地連續(xù)的部位交叉且在相對(duì)于試樣保持面交叉的方向上擴(kuò)展的側(cè)部，且由所述外向部、向下部和側(cè)部構(gòu)成的角部。

2.如權(quán)利要求1所述的試樣保持裝置，其特征在于，

定位部件為立體的形狀，具有構(gòu)成接觸部的接觸面。

3.如權(quán)利要求1或2所述的試樣保持裝置，其特征在于，

接觸部為向試樣保持面?zhèn)葍A斜的傾斜面。

4.如權(quán)利要求1或2所述的試樣保持裝置，其特征在于，

接觸部由動(dòng)摩擦系數(shù)不到0.2的材料制成。

5.如權(quán)利要求1或2所述的試樣保持裝置，其特征在于，

作為需保持對(duì)象的試樣的半導(dǎo)體基板為硅基板，其厚度為50μm～200μm。

6.如權(quán)利要求1或2所述的試樣保持裝置，其特征在于，

如下的部位帶有圓弧或?yàn)榈菇切螤睿?/p>

(5)具有同接觸部交叉或同與接觸部平緩地連續(xù)的部位交叉且在相對(duì)于試樣保持面交叉的方向上擴(kuò)展的側(cè)部，且由所述側(cè)部、和接觸部或與接觸部平緩地連續(xù)的部位構(gòu)成的角部；

(6)在接觸部的背面?zhèn)染哂型庀虿浚哂型佑|部交叉或同與接觸部平緩地連續(xù)的部位交叉且在相對(duì)于試樣保持面交叉的方向上擴(kuò)展的側(cè)部，且由所述外向部和側(cè)部構(gòu)成的角部。

7.一種太陽(yáng)能電池的制造方法，該太陽(yáng)能電池具有半導(dǎo)體基板，其特征在于，具有通過(guò)權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的試樣保持裝置對(duì)作為太陽(yáng)能電池的半成品的半成品太陽(yáng)能電池基板進(jìn)行保持的基板保持工序。

8.如權(quán)利要求7所述的太陽(yáng)能電池的制造方法，其特征在于，在基板保持工序后，具有在該基板上形成透明導(dǎo)電膜的工序。

9.一種太陽(yáng)能電池模塊的制造方法，制造太陽(yáng)能電池被密封材料密封的太陽(yáng)能電池模塊，其特征在于，所述太陽(yáng)能電池通過(guò)權(quán)利要求7或8所述的太陽(yáng)能電池的制造方法而制造。