[發(fā)明專利]用于有機(jī)膜的CMP漿料組合物及使用其的拋光方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580049063.9 | 申請(qǐng)日： | 2015-06-10 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106687553B | 公開（公告）日： | 2019-01-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 俞龍植;崔正敏;姜東憲;金泰完;金古恩;金容國(guó) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 三星SDI株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | C09K3/14 | 分類號(hào)： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京康信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240 | 代理人： | 張英;宮傳芝 |
| 地址： | 韓國(guó)*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 有機(jī) cmp 漿料 組合 使用 拋光 方法 | ||
【說明書】：
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