[發明專利]用于有機膜的CMP漿料組合物及使用其的拋光方法有效
| 申請號： | 201580049063.9 | 申請日： | 2015-06-10 |
| 公開（公告）號： | CN106687553B | 公開（公告）日： | 2019-01-11 |
| 發明（設計）人： | 俞龍植;崔正敏;姜東憲;金泰完;金古恩;金容國 | 申請（專利權）人： | 三星SDI株式會社 |
| 主分類號： | C09K3/14 | 分類號： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240 | 代理人： | 張英;宮傳芝 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 有機 cmp 漿料 組合 使用 拋光 方法 | ||
【權利要求書】：
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