[發明專利]終點檢測方法、研磨裝置及研磨方法

有效

• 申請號: 201580047764.9
• 申請日: 2015-08-27
• 公開（公告）號: CN106604802B
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發明（設計）人: 高橋太郎;鈴木佑多
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: B24B37/013
• 分類號: B24B37/013;H01L21/304
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

1.一種終點檢測方法，是依據向驅動部供給的驅動電流來進行的終點檢測方法，該驅動部用于旋轉驅動用于保持研磨墊的研磨臺、或用于保持研磨對象物并將該研磨對象物向研磨墊按壓的保持部，該終點檢測方法的特征在于，具備：

第一判定步驟，該第一判定步驟判定所執行的研磨處理的研磨條件是否與預設的特定的研磨條件一致；

調整步驟，該調整步驟在通過所述第一判定步驟判定為所述研磨條件與所述特定的研磨條件一致時，調整用于控制所述驅動電流的驅動控制部中的電流控制參數，該電流控制參數與所述驅動電流的對應于所述驅動部的驅動負荷的變化而產生的變化相關；

檢測步驟，該檢測步驟依據通過所述調整步驟調整后的電流控制參數，對向所述驅動部供給的驅動電流進行檢測；及

終點檢測步驟，該終點檢測步驟依據通過所述檢測步驟檢測出的驅動電流，來檢測研磨終點。

2.根據權利要求1所述的終點檢測方法，其特征在于，還具備：

第二判定步驟，該第二判定步驟依據在執行研磨處理時通過所述檢測步驟檢測出的驅動電流，判定是否將執行中的所述研磨處理的研磨條件加入所述特定的研磨條件。

3.根據權利要求2所述的終點檢測方法，其特征在于，

在所述第二判定步驟中，在所述驅動部的驅動負荷變化時，如果通過所述檢測步驟檢測出的驅動電流的變化比閾值小，則將執行中的所述研磨處理的研磨條件加入所述特定的研磨條件。

4.根據權利要求2所述的終點檢測方法，其特征在于，

所述終點檢測步驟依據通過所述檢測步驟檢測出的驅動電流的變化來檢測研磨終點，

在所述第二判定步驟中，在所述終點檢測步驟未檢測出研磨終點時，將執行中的所述研磨處理的研磨條件加入所述特定的研磨條件。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的終點檢測方法，其特征在于，

所述調整步驟以增大所述驅動電流的對應于所述驅動部的驅動負荷的變化而產生的變化的方式，調整所述電流控制參數。

6.根據權利要求1-4中任一項所述的終點檢測方法，其特征在于，

在所述驅動控制部依據所述研磨臺或所述保持部的實際轉速與目標轉速的偏差來控制所述驅動電流時，

所述調整步驟增大依據所述偏差進行的控制的控制增益。

7.根據權利要求1-4中任一項所述的終點檢測方法，其特征在于，

當所述研磨處理包含多個工序時，

所述調整步驟在所述多個工序中的一部分的工序中調整所述電流控制參數。

8.根據權利要求1-4中任一項所述的終點檢測方法，其特征在于，

所述研磨條件包含研磨對象物的種類、研磨處理方案的種類、研磨墊的種類及研磨砥液的種類中的至少一個。

9.一種研磨裝置，其特征在于，具備：

驅動部，該驅動部用于旋轉驅動用于保持研磨墊的研磨臺或用于保持研磨對象物并將該研磨對象物向研磨墊按壓的保持部；

驅動控制部，該驅動控制部用于控制對所述驅動部供給的驅動電流；及

調整部，該調整部在所執行的研磨處理的研磨條件與預設的特定的研磨條件一致時，調整所述驅動控制部中的電流控制參數，該電流控制參數與所述驅動電流的對應于所述驅動部的驅動負荷的變化而產生的變化相關。

10.根據權利要求9所述的研磨裝置，其特征在于，

還具備判定部，該判定部對所執行的研磨處理的研磨條件是否與預設的特定的研磨條件一致進行判定，

所述調整部在通過所述判定部判定為所述研磨處理的研磨條件與所述特定的研磨條件一致時，調整所述驅動控制部中的所述電流控制參數。