[發(fā)明專利]研磨組合物以及研磨方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580047692.8 | 申請(qǐng)日： | 2015-07-02 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106687552B | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-09-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 野島義弘 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | C09K3/14 | 分類號(hào)： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人： | 李英艷;張永康 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 組合 以及 方法 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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