[發明專利]研磨組合物以及研磨方法有效
| 申請號: | 201580047692.8 | 申請日: | 2015-07-02 |
| 公開(公告)號: | CN106687552B | 公開(公告)日: | 2019-09-03 |
| 發明(設計)人: | 野島義弘 | 申請(專利權)人: | 信越化學工業株式會社 |
| 主分類號: | C09K3/14 | 分類號: | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司: | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人: | 李英艷;張永康 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 研磨 組合 以及 方法 | ||
【權利要求書】:
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