[發明專利]感光性樹脂組合物、感光性元件、帶有抗蝕劑圖案的基板的制造方法以及印刷配線板的制造方法

在審

• 申請號: 201580046935.6
• 申請日: 2015-09-14
• 公開（公告）號: CN106796397A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發明（設計）人: 岡出翔太;村松有紀子;太田繪美子;澤邊賢;李相哲
• 申請（專利權）人: 日立化成株式會社
• 主分類號: G03F7/031
• 分類號: G03F7/031;G03F7/004;G03F7/029;G03F7/033;H05K3/06;H05K3/18
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司11243
• 代理人: 鐘晶,陳彥

1.一種感光性樹脂組合物，含有：

(A)粘合劑聚合物，其具備來源于具有碳原子數1～12的羥烷基的(甲基)丙烯酸羥烷基酯的結構單元和來源于(甲基)丙烯酸的結構單元，

(B)具有乙烯性不飽和鍵基團的光聚合性化合物，

(C)光聚合引發劑，以及

(D)下述通式(1)所表示的苯乙烯基吡啶化合物，

[化1]

式(1)中，R¹、R²和R³各自獨立地表示碳原子數1～20的烷基、碳原子數1～6的烷氧基、碳原子數1～6的烷基酯基、氨基、碳原子數1～20的烷基氨基、羧基、氰基、硝基、乙酰基或(甲基)丙烯酰基，a、b和c各自獨立地表示0～5的整數，其中，a大于或等于2時，存在有多個的R¹各自可以相同也可以不同，b大于或等于2時，存在有多個的R²各自可以相同也可以不同，c大于或等于2時，存在有多個的R³各自可以相同也可以不同。

2.根據權利要求1所述的感光性樹脂組合物，(A)粘合劑聚合物進一步具有來源于苯乙烯或α-甲基苯乙烯的結構單元。

3.根據權利要求1或權利要求2所述的感光性樹脂組合物，(C)光聚合引發劑含有選自由2,4,5-三芳基咪唑二聚物及其衍生物組成的組中的至少一種。

4.一種感光性元件，其具備支撐體、以及使用權利要求1～權利要求3中任一項所述的感光性樹脂組合物形成于所述支撐體上的感光性樹脂組合物層。

5.一種帶有抗蝕劑圖案的基板的制造方法，具有如下工序：

使用權利要求1～權利要求3中任一項所述的感光性樹脂組合物在基板上形成感光性樹脂組合物層的工序；

對所述感光性樹脂組合物層的至少一部分區域照射活性光線，使所述區域光固化而形成固化物區域的工序；以及

將所述感光性樹脂組合物層的除所述固化物區域以外的區域從所述基板上去除，在所述基板上形成包含所述固化物區域的抗蝕劑圖案的工序。

6.根據權利要求5所述的帶有抗蝕劑圖案的基板的制造方法，所述活性光線的波長為340nm～430nm的范圍內。

7.一種印刷配線板的制造方法，包含如下工序：

對通過權利要求5或權利要求6所述的帶有抗蝕劑圖案的基板的制造方法形成了抗蝕劑圖案的基板進行蝕刻處理和鍍覆處理中的至少一方處理的工序。