[發明專利]致動器系統有效
| 申請號： | 201580046043.6 | 申請日： | 2015-07-22 |
| 公開（公告）號： | CN106796981B | 公開（公告）日： | 2019-06-28 |
| 發明（設計）人： | H·馬特;P·佩爾奇;O·X·趙 | 申請（專利權）人： | 物理儀器(PI)兩合有限公司 |
| 主分類號： | H01L41/053 | 分類號： | H01L41/053 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038 | 代理人： | 俄旨淳 |
| 地址： | 德國卡*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 致動器 系統 | ||
1.致動器系統(1)，具有至少四個能電操控的、長度可變的致動器(2)，這些致動器分別通過單獨的、具有整體構成的彈性部段(5)的殼體(3)沿致動器的長度變化方向加載壓力，其中，每個殼體(3)都與對于所有殼體共同的基礎元件(4)一體地構成。
2.根據權利要求1所述的致動器系統，其特征在于，每個殼體(3)都由至少兩個相鄰的殼體(3)包圍。
3.根據權利要求1或2所述的致動器系統，其特征在于，所述彈性部段通過殼體(3)中的縫隙(6)形成。
4.根據權利要求1或2所述的致動器系統，其特征在于，殼體的至少一部分具有開口或通孔(7)，致動器能沿其縱向方向裝入所述開口或通孔中。
5.根據權利要求4所述的致動器系統，其特征在于，致動器能沿其縱向方向插入所述開口或通孔中。
6.根據權利要求1或2所述的致動器系統，其特征在于，至少一個殼體(3)具有接觸元件(8)，所述接觸元件設定為用于與要通過致動器發生運動或變形的元件接觸。
7.根據權利要求6所述的致動器系統，其特征在于，所述接觸元件具有保持裝置(9)。
8.根據權利要求7所述的致動器系統，其特征在于，所述保持裝置是螺紋的形式。
9.根據權利要求8所述的致動器系統，其特征在于，所述保持裝置是內螺紋的形式。
10.根據權利要求6所述的致動器系統，其特征在于，所述接觸元件具有脫耦部段，所述脫耦部段減少或消除橫向于致動器的長度變化方向的力導入。
11.根據權利要求6所述的致動器系統，其特征在于，所述接觸元件與殼體整體地構成。
12.具有多個根據權利要求1至11之一所述的致動器系統(1)的布置系統(10)，其特征在于，相鄰的致動器系統至少局部地接觸。
13.根據權利要求12所述的布置系統，其特征在于，相鄰的致動器系統在相應的基礎元件的區域內接觸。
14.根據權利要求12或13所述的布置系統，其特征在于，各致動器系統分別通過基礎元件與基板(11)連接。
15.根據權利要求14所述的布置系統，其特征在于，各致動器系統裝入基板(11)中，使得只有殼體或接觸元件突出于基板。
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