[發(fā)明專利]致動(dòng)器系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580046043.6
• 申請(qǐng)日: 2015-07-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106796981B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: H·馬特;P·佩爾奇;O·X·趙
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 物理儀器(PI)兩合有限公司
• 主分類號(hào): H01L41/053
• 分類號(hào): H01L41/053
• 代理公司: 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所 11038
• 代理人: 俄旨淳

本發(fā)明涉及一種致動(dòng)器系統(tǒng)，所述致動(dòng)器系統(tǒng)具有至少四個(gè)能電操控的、長(zhǎng)度可變的致動(dòng)器，這些致動(dòng)器分別通過(guò)單獨(dú)的、具有整體構(gòu)成的彈性部段的殼體沿致動(dòng)器的長(zhǎng)度變化方向加載壓力，其中，每個(gè)殼體都與對(duì)于所有殼體共同的基礎(chǔ)元件一體地構(gòu)成。本發(fā)明還涉及一種具有多個(gè)所述致動(dòng)器系統(tǒng)的(陣列)布置系統(tǒng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種致動(dòng)器系統(tǒng)和一種具有多個(gè)這種致動(dòng)器系統(tǒng)的布置系統(tǒng)。

背景技術(shù)

由科技文章“Structure and closed-loop control of a novel compactdeformable mirror for wavefront correction in a high power laser system”，Laser Phys.Lett.10(2013)(045301)(7pp)已知一種致動(dòng)器系統(tǒng)，這種致動(dòng)器系統(tǒng)以8x8的陣列具有總共64個(gè)PZT(壓電陶瓷換能器)致動(dòng)器，其中，所述致動(dòng)器系統(tǒng)設(shè)定為用于有目的地使激光系統(tǒng)的反射鏡變形，以便對(duì)激光束的波前像差進(jìn)行修正。前面所述文章的圖1詳細(xì)示出了致動(dòng)器布置系統(tǒng)或致動(dòng)器支架的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，其中，通過(guò)彈簧和夾緊螺釘給致動(dòng)器加載預(yù)緊壓力。所述預(yù)緊壓力對(duì)于防止相應(yīng)的致動(dòng)器受到拉力載荷是必要的，因?yàn)橹聞?dòng)器的PZT陶瓷在很小的拉力載荷下就可能發(fā)生損壞。

對(duì)于這種結(jié)構(gòu)不利的是，具有大量單件的復(fù)雜構(gòu)造，所述構(gòu)造使得裝配異常復(fù)雜，并且所述致動(dòng)器系統(tǒng)包括的致動(dòng)器越多，則這種構(gòu)造就越復(fù)雜。此外，由于必須引導(dǎo)連接導(dǎo)向通過(guò)相應(yīng)致動(dòng)器下端上的螺紋連接結(jié)構(gòu)，會(huì)使得裝配變得更難。此外所使用的單件占據(jù)較大的空間，從而相應(yīng)致動(dòng)器系統(tǒng)的微型化會(huì)很快達(dá)到極限。特別是由于相應(yīng)地設(shè)置壓力彈簧，突出于致動(dòng)器底面的空間延伸尺寸較大，從而相鄰致動(dòng)器的間距(節(jié)距)同樣較大。

由DE 10 2006 032 995 A1已知一種具有致動(dòng)器系統(tǒng)的機(jī)電式馬達(dá)，在所述致動(dòng)器系統(tǒng)中，壓電式的致動(dòng)器通過(guò)彈簧帶固定在馬達(dá)的結(jié)構(gòu)元件上。這里，特別是當(dāng)致動(dòng)器系統(tǒng)具有多個(gè)致動(dòng)器和相應(yīng)數(shù)量很大的彈簧帶時(shí)，在例如通過(guò)焊接法進(jìn)行裝配期間，處于高的拉應(yīng)力作用下的彈簧帶的固定是不利的。在致動(dòng)器的陣列式布置中，致動(dòng)器設(shè)置在前后相繼的隊(duì)列中，對(duì)于這種陣列式布置形式，對(duì)于相應(yīng)位于內(nèi)部的并且在所有側(cè)面由相鄰致動(dòng)器包圍的致動(dòng)器來(lái)說(shuō)，彈簧帶的安裝非常困難，甚至無(wú)法進(jìn)行。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的是，提供一種致動(dòng)器系統(tǒng)，所述致動(dòng)器系統(tǒng)克服了由前面所述的現(xiàn)有技術(shù)已知的缺點(diǎn)。本發(fā)明的目的特別是，提供一種具有多個(gè)致動(dòng)器的致動(dòng)器系統(tǒng)，所述致動(dòng)器系統(tǒng)能簡(jiǎn)單且快速地制造并且在這種致動(dòng)器系統(tǒng)中能夠利用相鄰致動(dòng)器之間非常小的間距簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)微型化。

據(jù)此，給出這樣一種致動(dòng)器系統(tǒng)，所述致動(dòng)器系統(tǒng)具有至少四個(gè)能電操控的、長(zhǎng)度可變的致動(dòng)器，特別是壓電致動(dòng)器。每個(gè)致動(dòng)器包括一個(gè)單獨(dú)的、其自己的殼體，從而各個(gè)殼體是分開(kāi)的并且相互隔開(kāi)間距地存在。這里，術(shù)語(yǔ)“殼體”在本發(fā)明的范圍內(nèi)是指，不是必須完全地包圍或圍繞致動(dòng)器，而是可以至少部分地包圍或圍繞致動(dòng)器。

每個(gè)殼體都分別設(shè)計(jì)成與一個(gè)共同的基礎(chǔ)元件是整體或一體的。“共同的基礎(chǔ)元件”這里意味著，所有殼體都與相同的并且對(duì)于所有殼體共同的基礎(chǔ)元件連接。通過(guò)與殼體整體構(gòu)成的彈性部段，實(shí)現(xiàn)了在確定和限定的區(qū)域內(nèi)給致動(dòng)器加載機(jī)械壓力，所述壓力的作用方向平行于致動(dòng)器的縱向延伸方向或平行于致動(dòng)器的長(zhǎng)度變化方向。

通過(guò)所有殼體與所述共同的基礎(chǔ)元件整體或一體的構(gòu)成連同整體地存在于每個(gè)殼體中的彈性部段實(shí)現(xiàn)了非常緊湊的并且同時(shí)在安裝技術(shù)上能簡(jiǎn)單和快速實(shí)現(xiàn)的致動(dòng)器系統(tǒng)，所述致動(dòng)器系統(tǒng)在相鄰的致動(dòng)器之間具有非常小的間距或節(jié)距，因?yàn)樗鰵んw與致動(dòng)器本身相比只占據(jù)略大的空間，所述彈性部段能施加使致動(dòng)器可靠且持續(xù)運(yùn)行所需的壓力。此外，在這種構(gòu)造中，沒(méi)有任何螺紋連接結(jié)構(gòu)，設(shè)置在致動(dòng)器上的用于電操控的連接導(dǎo)線或所述連接導(dǎo)線的引導(dǎo)或?qū)ㄝ^為簡(jiǎn)單。致動(dòng)器本身的裝配或殼體安裝在根據(jù)本發(fā)明的致動(dòng)器系統(tǒng)中同樣非常簡(jiǎn)單和方便。