[發明專利]諧振器以及諧振裝置

有效

• 申請號: 201580041358.1
• 申請日: 2015-10-20
• 公開（公告）號: CN106664075B
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發明（設計）人: 中村大佐;中谷宏
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/24
• 分類號: H03H9/24;B06B1/06;H01L41/09
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;李洋

本發明提供一種抑制由振動部的不必要振動引起的保持體的振動，并且能夠實現小型化的諧振器以及諧振裝置。上述諧振器具備：振動部，其具有半導體層、形成在半導體層上的第一壓電膜、以及形成于第一壓電膜的上部的第一上部電極；保持體，其將振動部保持為能夠振動；連結部，其連結振動部和保持體；以及振動抑制部，其具有形成在保持體上的第二壓電膜和形成于第二壓電膜的上部的第二上部電極。

技術領域

本發明涉及諧振器以及諧振裝置。

背景技術

在電子設備中，作為用于實現計時功能的設備，使用諧振器。隨著電子設備的小型化，諧振器也被要求小型化，從而使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微機電系統)技術制造的諧振器(以下，稱為“MEMS振子”。)備受關注。

在這樣的諧振器中，將振動部構成為經由連結部被保持體保持為能夠振動。以往，在這樣的諧振器中，為了避免振動部的振動對于保持體傳遞為泄露振動，實施了各種方法。

例如，在專利文獻1中，對于使用了寬度擴展振動的諧振器，在與節點連接的保持臂形成動態減震構造來抑制朝向保持體的振動的泄漏。另外，在專利文獻2中，在輪廓振子與保持體之間附加輔助臂和連結部，由此防止振動的泄漏。

專利文獻1：日本特開平7-7361號公報

專利文獻2：日本特開2008-166903號公報

然而，在專利文獻1以及專利文獻2中，均是利用連結部來抑制來自振動部的不必要振動的結構，通過設置使連結部吸收振動的輔助部來防止從振動部朝向保持體的振動泄漏。因此，連結部的形狀復雜且尺寸增大，諧振器整體的小型化較困難。另外，也存在連結部的強度降低這樣的課題。

發明內容

本發明是鑒于這樣的情況而完成的，其目的在于提供一種抑制由振動部的不必要振動引起的保持體的振動，并且能夠實現振動部的小型化的諧振器以及諧振裝置。

本發明的一個方面所涉及的諧振器具備：振動部，其具有半導體層、形成在半導體層上的第一壓電膜、和形成于第一壓電膜的上部的第一上部電極；保持體，其將振動部保持為能夠振動；連結部，其連結振動部和保持體；以及振動抑制部，其形成在保持體上，具有第二壓電膜和形成于第二壓電膜的上部的第二上部電極。

根據本發明，能夠提供一種抑制由振動部的不必要振動引起的保持體的振動，并且能夠實現小型化的諧振器以及諧振裝置。

附圖說明

圖1是表示第一實施方式的壓電諧振器的整體結構的立體圖。

圖2是表示第一實施方式的壓電諧振器的其它方式的A-A剖視圖。

圖3是圖1的壓電諧振器的保持體與振動抑制部的局部剖視圖。

圖4是表示用于對第一實施方式的壓電諧振器的效果進行說明的比較例的圖。

圖5是表示第一實施方式的壓電諧振器的效果的圖。

圖6是第二實施方式的壓電諧振器的保持體與振動抑制部的局部剖視圖。

圖7是表示第三實施方式的壓電諧振裝置的整體結構的立體分解圖。

圖8是表示其它實施方式的壓電諧振器的結構的俯視示意圖。

圖9是表示其它實施方式的壓電諧振器的結構的俯視示意圖。

圖10是表示其它實施方式的壓電諧振器的結構的立體圖。

圖11是圖10的B-B剖視圖。

具體實施方式

以下，參照附圖對本發明的一實施方式進行說明。