[發明專利]氧化物燒結體在審
| 申請號： | 201580040059.6 | 申請日： | 2015-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN106660881A | 公開（公告）日： | 2017-05-10 |
| 發明（設計）人： | 中田邦彥 | 申請（專利權）人： | 住友化學株式會社 |
| 主分類號： | C04B35/00 | 分類號： | C04B35/00;C04B35/645;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司11021 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氧化物 燒結 | ||
1.一種氧化物燒結體，其是包含In、Ga及Zn的氧化物燒結體，該氧化物燒結體在L＊a＊b＊表色系中的L＊為35以下。
2.根據權利要求1所述的氧化物燒結體，其在L＊a＊b＊表色系中的a＊為-0.6以下。
3.根據權利要求1或2所述的氧化物燒結體，其維氏硬度為400以上。
4.根據權利要求1～3中任一項所述的氧化物燒結體，其抗折強度為90MPa以上。
5.根據權利要求1～4中任一項所述的氧化物燒結體，其相對密度為99.5％以上。
6.根據權利要求1～5中任一項所述的氧化物燒結體，其體電阻值不足1.0×10-3Ω·cm。
7.根據權利要求1～6中任一項所述的氧化物燒結體，其中，單相比例為97.5％以上。
8.根據權利要求1～7中任一項所述的氧化物燒結體，其晶體粒徑為9μm以下。
9.一種氧化物燒結體，其包含In、Ga及Zn，該氧化物燒結體的維氏硬度為450以上，相對密度超過97％，體電阻值不足1.0×10-3Ω·cm。
10.一種氧化物燒結體，其包含In、Ga及Zn，該氧化物燒結體的抗折強度為130MPa以上，相對密度超過97％，體電阻值不足1.0×10-3Ω·cm。
11.根據權利要求10所述的氧化物燒結體，其維氏硬度為450以上。
12.根據權利要求9～11中任一項所述的氧化物燒結體，其在L＊a＊b＊表色系中的L＊為35以下。
13.根據權利要求9～12中任一項所述的氧化物燒結體，其在L＊a＊b＊表色系中的a＊為-0.6以下。
14.根據權利要求9～13中任一項所述的氧化物燒結體，其相對密度為99.5％以上。
15.根據權利要求9～14中任一項所述的氧化物燒結體，其中，單相比例為97.5％以上。
16.根據權利要求9～15中任一項所述的氧化物燒結體，其晶體粒徑為4.5μm以下。
17.一種濺射靶，其包含權利要求1～16中任一項所述的氧化物燒結體。
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