[發明專利]陰極構件及使用其的等離子體裝置有效
| 申請號： | 201580038736.0 | 申請日： | 2015-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN106536785B | 公開（公告）日： | 2018-12-28 |
| 發明（設計）人： | 加藤健治;高橋正人 | 申請（專利權）人： | 日新電機株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205 | 代理人： | 楊文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 陰極 構件 使用 等離子體 裝置 | ||
【權利要求書】：
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