[發(fā)明專利]激光加工用掩模

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580036060.1
• 申請日: 2015-06-26
• 公開（公告）號: CN106660170B
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 大塚輝
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H01S3/08
• 分類號: H01S3/08;B23K26/066
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 陳力奕

為了使激光通過而在掩模主體(41)上貫通形成有銷孔(42)的激光加工用掩模(40)中，在掩模主體(41)的激光的射入側(cè)利用切削、磨削或研磨加工來形成相對于銷孔的軸線傾斜的反射面(43)，通過使反射面(43)中平行于傾斜方向的方向的表面粗糙度(Ray)形成得小于垂直于傾斜方向的方向的表面粗糙度(Rax)，從而使激光照射中幾乎沒有來自掩模的返回光，防止激光的模式劣化以及振蕩輸出的降低。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及用于激光加工裝置的掩模。

背景技術(shù)

以往，例如像專利文獻(xiàn)1所記載的那樣，已知有如下激光加工裝置：由反射鏡反射從激光光源射出的激光，使激光通過掩模中之后，再次由反射鏡反射，利用透鏡進行聚焦來使激光照射在被加工物上。多個掩模被安裝在旋轉(zhuǎn)板的周向上，通過使旋轉(zhuǎn)板旋轉(zhuǎn)，將依照加工目的掩模配置在激光的光軸上。

如圖7所示，專利文獻(xiàn)1中記載的掩模60被擰入可調(diào)整位置地安裝在旋轉(zhuǎn)板上的滑塊70的孔71中。在掩模60的激光射入側(cè)形成有凸緣部61，在中心部形成有成為掩模圖案的銷孔63。在凸緣部61的激光射入側(cè)的端面形成圓錐狀的錐面62，激光L的一部分L2通過銷孔63，剩余的激光L1被錐面62反射，反射光L1的能量被圓環(huán)狀的阻尼器72吸收。

對錐面62實施用于提高反射率的涂層處理或切削加工。在對錐面62實施了涂層處理的情況下，不僅耗費加工成本，而且還有涂層被剝離的可能性。因此，無論從成本方面還是從耐久性方面來看，都希望使用激光的反射率較高的材料作為掩模60的材料，對掩模60的激光射入側(cè)進行切削加工來形成錐面62。

在如上文所述將錐面62切削加工為圓錐狀的情況下，微觀地來看，在錐面62的表面上會形成由切削加工產(chǎn)生的圓周方向上的多個槽或凹凸62a。由于這樣的凹凸62a使反射光散射，使一部分激光成為與射入方向相對方向的返回光La。因此，存在以下問題：產(chǎn)生激光振蕩變得不穩(wěn)定，發(fā)生激光的模式劣化、振蕩輸出降低。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特開平10-235484號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明的目的在于提供一種激光加工用掩模，能使激光照射中來自掩模的返回光幾乎消失，能防止激光的模式劣化、振蕩輸出的降低。

解決技術(shù)問題的技術(shù)方案

本發(fā)明是包括掩模主體、以及為了使激光通過而貫通形成于掩模主體的銷孔的激光加工用掩模。其特征在于，在掩模主體的激光的射入側(cè)利用切削加工、磨削加工或研磨加工形成相對于銷孔的軸線傾斜的反射面，反射面中平行于傾斜方向的方向的表面粗糙度Ray小于垂直于傾斜方向的方向的表面粗糙度Rax。

在反射面被切削加工或磨削加工為圓錐面形狀的掩模的情況下，會產(chǎn)生圓周方向的槽或凹凸。即，平行于傾斜方向的方向的表面粗糙度Ray大于垂直于傾斜方向的方向的表面粗糙度Rax。因此，反射光進行散射，一部分可能變成朝向激光振蕩器的返回光。本發(fā)明的掩模中，反射面中平行于傾斜方向的方向的表面粗糙度Ray小于垂直于傾斜方向的方向的表面粗糙度Rax。為此，射入掩模的激光容易向不同于射入方向的方向散射，能抑制向與射入方向相對方向的反射，因此能抑制反射光成為與射入方向相對方向的返回光。其結(jié)果是，能對激光振蕩變得不穩(wěn)定、產(chǎn)生激光的模式劣化、振蕩輸出降低的問題進行抑制。