[發明專利]激光加工用掩模有效
| 申請號： | 201580036060.1 | 申請日： | 2015-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN106660170B | 公開（公告）日： | 2018-08-21 |
| 發明（設計）人： | 大塚輝 | 申請（專利權）人： | 株式會社村田制作所 |
| 主分類號： | H01S3/08 | 分類號： | H01S3/08;B23K26/066 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 31100 | 代理人： | 陳力奕 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光 工用 | ||
【權利要求書】：
1.一種激光加工用掩模，所述激光加工用掩模包括備掩模主體、以及為了使激光通過而在所述掩模主體上貫通形成的銷孔，所述激光加工用掩模的特征在于，
在所述掩模主體的激光的射入側利用切削加工、磨削加工或研磨加工來形成相對于銷孔的軸線傾斜的反射面，
所述反射面中平行于傾斜方向的方向的表面粗糙度Ray小于垂直于傾斜方向的方向的表面粗糙度Rax。
2.如權利要求1所述的激光加工用掩模，其特征在于，
所述反射面是相對于所述銷孔的軸線以一定角度進行傾斜的一個平面部。
3.如權利要求1所述的激光加工用掩模，其特征在于，
所述反射面是棱錐面或圓錐面。
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