[發(fā)明專利]烷撐二醇單烷基醚的分離回收方法、抗蝕劑組合物處理廢液的再利用方法和抗蝕劑組合物處理液的循環(huán)使用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580033942.2
• 申請日: 2015-07-08
• 公開（公告）號: CN106660914B
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 三河泰廣;緒方不二麿
• 申請（專利權(quán)）人: 昭和電工株式會社
• 主分類號: C07C41/42
• 分類號: C07C41/42;B01D3/00;C07C41/44;C07C43/13;G03F7/42
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 李照明;段承恩

1.一種烷撐二醇單烷基醚的分離回收方法，其特征在于，是從包含第一溶劑、第二溶劑和第三溶劑的第一溶劑混合物中分離回收第一溶劑的方法，所述第一溶劑由下述通式(I)表示，所述第二溶劑由下述通式(II)表示，所述第三溶劑與所述第一溶劑和第二溶劑不同，

R(OR')_nOH (I)

R(OR')_nOCOR” (II)

在通式(I)和通式(II)中，R表示碳原子數(shù)為1～4的烷基，R’表示碳原子數(shù)為2～4的亞烷基，R”表示碳原子數(shù)為1～2的烷基，通式(I)和通式(II)中的R是相同的，通式(I)和通式(II)中的R’也是相同的，n為1或2，

該分離回收方法包括下述第一工序和第二工序，

第一工序：通過向所述第一溶劑混合物中添加堿性化合物，將所述第二溶劑皂化、轉(zhuǎn)變?yōu)榈谝蝗軇瑥亩@得第二溶劑混合物，

第二工序：將所述第二溶劑混合物蒸餾，回收第一溶劑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的烷撐二醇單烷基醚的分離回收方法，所述堿性化合物是選自氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鈣和氫氧化銨中的至少一種氫氧化堿性化合物。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的烷撐二醇單烷基醚的分離回收方法，所述堿性化合物為氫氧化鈉。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的烷撐二醇單烷基醚的分離回收方法，所述第一溶劑是丙二醇單甲基醚，所述第二溶劑是丙二醇單甲基醚乙酸酯，所述第三溶劑是選自環(huán)戊酮、環(huán)己酮、乳酸乙酯和3-甲氧基丙酸甲酯中的至少一種。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的烷撐二醇單烷基醚的分離回收方法，所述第一溶劑混合物是利用包含所述第一溶劑和第二溶劑的混合溶劑處理抗蝕劑組合物而得的處理廢液。

6.一種抗蝕劑組合物處理廢液的再利用方法，其特征在于，包括下述工序，

第一工序：使用包含下述通式(I)所示的第一溶劑和下述通式(II)所示的第二溶劑的混合溶劑來處理抗蝕劑組合物，

第二工序：回收由第一工序生成的處理廢液，

第三工序：向所述處理廢液中添加堿性化合物，從而將所述處理廢液中的第二溶劑皂化，轉(zhuǎn)變?yōu)榈谝蝗軇?/p>

第四工序：將由所述第三工序獲得的溶劑混合物蒸餾，回收第一溶劑，以及

第五工序：向經(jīng)所述第四工序回收得到的第一溶劑中添加新的第二溶劑，再次調(diào)制具有規(guī)定的配合比的混合溶劑，

R(OR')_nOH (I)

R(OR')_nOCOR” (II)

在通式(I)和通式(II)中，R表示碳原子數(shù)為1～4的烷基，R’表示碳原子數(shù)為2～4的亞烷基，R”表示碳原子數(shù)為1～2的烷基，通式(I)和通式(II)中的R是相同的，通式(I)和通式(II)中的R’也是相同的，n為1或2。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的抗蝕劑組合物處理廢液的再利用方法，所述堿性化合物是選自氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鈣和氫氧化銨中的至少一種氫氧化堿性化合物。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的抗蝕劑組合物處理廢液的再利用方法，所述堿性化合物為氫氧化鈉。

9.根據(jù)權(quán)利要求6～8中任一項所述的抗蝕劑組合物處理廢液的再利用方法，所述第一溶劑是丙二醇單甲基醚，所述第二溶劑是丙二醇單甲基醚乙酸酯。

10.根據(jù)權(quán)利要求6～8中任一項所述的抗蝕劑組合物處理廢液的再利用方法，在所述第三工序后第四工序前，具有下述工序：分離所述處理廢液中包含的通過皂化反應(yīng)生成的固體成分。