[發明專利]氧化物燒結體、其制造方法及濺射靶有效
| 申請號: | 201580033197.1 | 申請日: | 2015-07-27 |
| 公開(公告)號: | CN106458763B | 公開(公告)日: | 2021-03-12 |
| 發明(設計)人: | 尾身健治;伊藤謙一;內海健太郎 | 申請(專利權)人: | 東曹株式會社 |
| 主分類號: | C04B35/453 | 分類號: | C04B35/453;C23C14/34 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 11105 | 代理人: | 沈雪 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 氧化物 燒結 制造 方法 濺射 | ||
【說明書】:
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