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[發明專利]氧化物燒結體、其制造方法及濺射靶有效

專利信息
申請號: 201580033197.1 申請日: 2015-07-27
公開(公告)號: CN106458763B 公開(公告)日: 2021-03-12
發明(設計)人: 尾身健治;伊藤謙一;內海健太郎 申請(專利權)人: 東曹株式會社
主分類號: C04B35/453 分類號: C04B35/453;C23C14/34
代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105 代理人: 沈雪
地址: 日本*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 氧化物 燒結 制造 方法 濺射
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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