[發(fā)明專(zhuān)利]氧化物燒結(jié)體、其制造方法及濺射靶有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580033197.1 | 申請(qǐng)日： | 2015-07-27 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106458763B | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-03-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 尾身健治;伊藤謙一;內(nèi)海健太郎 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 東曹株式會(huì)社 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C04B35/453 | 分類(lèi)號(hào)： | C04B35/453;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 沈雪 |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 氧化物 燒結(jié) 制造 方法 濺射 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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