[發明專利]載具的搬運系統以及搬運方法

有效

• 申請號: 201580031896.2
• 申請日: 2015-04-30
• 公開（公告）號: CN106663649B
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 高井要
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;田軍鋒

本發明不在區間臺車設置橫向輸送機構就可增加能夠臨時保管的載具的數量。利用橋式行駛車和區間臺車在與處理裝置的裝載區之間搬運載具。橋式行駛車和區間臺車都具備提升機，橋式行駛車還具備橫向輸送提升機的橫向輸送機構。以在裝載區的正上部通過的方式配置有橋式行駛車的行駛軌道，區間臺車的行駛軌道在橋式行駛車的行駛軌道的下方且在裝載區的正上部設置。設有在區間臺車的行駛軌道的正下方的前進位置與從區間臺車的行駛軌道的正下方朝側方遠離的后退位置之間自由滑動的滑動緩沖區。為了進行載具的移載，在后退位置將滑動緩沖區的上方敞開。

技術領域

本發明涉及對半導體晶圓等進行收納的載具的搬運。

背景技術

為了增加半導體處理裝置的運轉率，要求在其裝載區(load port)的附近設置臨時保管裝置(緩沖區)。對于此，申請人在專利文獻1(JP2012-111635)中提出了如下方案：與橋式行駛車(OHT：Overhead Hoist Transport)的行駛軌道平行地并且在其下方設置區間臺車的行駛軌道。而且，若將區間臺車和橋式行駛車雙方能夠進行移載的緩沖區設置于區間臺車的行駛軌道的下方且設置于裝載區的正上方以外的部分，則例如能夠設置四個緩沖區。在緩沖區的數量不足的情況下，考慮在橋式行駛車和區間臺車設置載具的橫向輸送機構，并在區間臺車的行駛軌道的斜下方追加緩沖區。

專利文獻1：JP2012-111635

然而，若在區間臺車設置載具的橫向輸送機構，則區間臺車的高度增加。因此需要不增加區間臺車的高度就可以增加能夠臨時保管的載具的數量。本發明的課題在于，不在區間臺車設置橫向輸送機構就可以增加能夠臨時保管的載具的數量。

發明內容

在本發明的搬運系統中，在與處理裝置的裝載區之間移載載具，其具備：

橋式行駛車，其具備使載具升降的提升機、和對提升機進行橫向輸送的橫向輸送機構；

橋式行駛車的行駛軌道，其以在裝載區的正上部通過的方式配置于建筑物的頂棚空間；

區間臺車，其具備使載具升降的提升機；

區間臺車的行駛軌道，其在橋式行駛車的行駛軌道的下方且在裝載區的正上部設置；

滑動緩沖區，其在上述區間臺車的行駛軌道的正下方的前進位置與從上述區間臺車的行駛軌道的正下方朝側方遠離的后退位置之間自由滑動，并且自由載置載具；以及

緩沖區控制器，其對上述區間臺車和上述滑動緩沖區進行控制，

為了進行載具的移載，在上述后退位置將上述滑動緩沖區的上方敞開，

上述橋式行駛車構成為在與裝載區以及處于上述后退位置的滑動緩沖區之間移載載具，

上述區間臺車構成為在與裝載區以及處于上述前進位置的滑動緩沖區之間移載載具，

另外，上述區間臺車的行駛軌道從裝載區的正上部延長并延伸至從正上部偏離的區間臺車的待機位置，

上述區間臺車在上述待機位置待機。

在本發明的載具的搬運方法中，利用具有橋式行駛車和區間臺車的搬運系統在與處理裝置的裝載區之間搬運載具，

上述搬運系統具備：

橋式行駛車，其具備使載具升降的提升機、和對提升機進行橫向輸送的橫向輸送機構；

橋式行駛車的行駛軌道，其以在裝載區的正上部通過的方式配置于建筑物的頂棚空間；

區間臺車，其具備使載具升降的提升機；

區間臺車的行駛軌道，其在橋式行駛車的行駛軌道的下方且在裝載區的正上部設置，