[發明專利]對脈沖光束的光譜特征的估計有效
| 申請號： | 201580030283.7 | 申請日： | 2015-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN106462081B | 公開（公告）日： | 2020-02-11 |
| 發明（設計）人： | T·P·達菲;H·P·戈德弗里德 | 申請（專利權）人： | 西默有限公司;ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律師事務所 | 代理人： | 王茂華 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 脈沖 光束 光譜 特征 估計 | ||
【說明書】：
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