[發明專利]對脈沖光束的光譜特征的估計有效
| 申請號： | 201580030283.7 | 申請日： | 2015-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN106462081B | 公開（公告）日： | 2020-02-11 |
| 發明（設計）人： | T·P·達菲;H·P·戈德弗里德 | 申請（專利權）人： | 西默有限公司;ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律師事務所 | 代理人： | 王茂華 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 脈沖 光束 光譜 特征 估計 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于西默有限公司;ASML荷蘭有限公司，未經西默有限公司;ASML荷蘭有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201580030283.7/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：用于補償曝光過程中的曝光誤差的方法
- 下一篇：光刻設備及制造光刻設備的方法
